
1.正確的選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,,如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1×10-5mmHg為好,。
2.真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求,。如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg,。
3.真空設(shè)備對(duì)油污染的要求,。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí),應(yīng)該選各種無(wú)油泵,,如:水環(huán)泵,、分子篩吸附泵、濺射離子泵,、低溫泵等,。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,,加上一些防油污染措施,,如加冷阱、障板,、擋油阱等,,也能達(dá)到清潔真空要求。
4.真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無(wú)影響,。若工藝過程不允許,,應(yīng)選擇無(wú)振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。
5.真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何,。如果環(huán)境不允許有污染,,可以選無(wú)油真空泵,或者把油蒸氣排到室外,。
6.了解被抽氣體成分,,氣體中含不含可凝蒸氣,有無(wú)顆?;覊m,,有無(wú)腐蝕性等。在選擇真空泵時(shí),,需要知道氣體成分,,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵,如果氣體中含有蒸氣,、顆粒,、及腐蝕性氣體,,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器,、除塵器等,。