產(chǎn)品簡介
詳細介紹
SB100A/3型四探針導體/半導體電阻率測量儀
由于金屬塊體材料的電阻和金屬薄膜的電阻很低,,他們的測量采用四端接線法。為了滿足實際的需要,,本儀器采用四探針法原理來實現(xiàn)對不同金屬,、半導體,、導電高分子材料的電阻及電阻率的測量??捎糜诟咝N锢斫逃龑嶒?,對導體/半導體/金屬薄膜材料的電阻及電阻率的測試及研究。本產(chǎn)品的電阻測量范圍可達10-6—106Ω,。
SB100A/3型四探針導體/半導體電阻率測量儀是由SB118/1型精密電壓電流源以及SB120/2四探針樣品平臺二臺儀器構成,。
l SB118型精密直流電壓電流源(詳見該產(chǎn)品使用說明書)
直流電流源
a) 電流輸出范圍:1nA~200mA,輸出電壓不小于5V,;
b) 量程:分五檔,,20μA、200μA,、2mA,、20mA、200mA,;
c) 電流輸出的基本誤差:0.03%RD±0.02%FS(20±2℃),;其中50~200mA為0.05%RD±0.02%FS。
直流電壓源
a) 電壓輸出范圍:5μV~50V,,負載電流不小于10mA(20mV以上),;
b) 量程:分五檔,20mV,、200mV,、2V、20V,、50V,,每檔均有粗調(diào)和細調(diào);
c) 電壓輸出的基本誤差:0.05%RD±0.02%FS(20±2℃),。
數(shù)字電壓表(4½LED)利用電壓源部分“取樣”端可對被測電壓進行測試
a) 測量量程 20mV,,200mV,2V,,20V,,200V
b) zui高分辨力 可達1µV
c) 基本誤差為 0.03%RD±0.02%FS (20±2ºC)
l SB120/2四探針樣品平臺(詳見該產(chǎn)品使用說明書)
為被測薄膜樣品,利用四探針測量方式測量導體/半導體樣品的電阻和電阻率,,提供了方便,。