SRS RGA300 是一款 300amu 的殘余氣體分析儀,具有性能和較高的性價比,,以下是其產(chǎn)品概述:
系統(tǒng)組成:由四極桿探頭,、電子控制單元(ECU)和實時 Windows 軟件包構成。其中,,探頭包括離子發(fā)生器,、四極濾質器和檢測器,設計簡潔,,零件少,,可減少放氣和雜質引入;ECU 集成度高,,包含控制所需的所有電子設備,,可由外部電源或內置電源模塊供電,且?guī)в?LED 指示燈顯示狀態(tài),,還能與探頭分離進行高溫烘烤,。
性能特點:質量分辨率優(yōu)于 0.5amu @ 10% 峰高(根據(jù) AVS 標準 2.3),,在整個質量范圍內可調至恒定峰寬;具有 6 個量級的動態(tài)范圍,,溫度補償對數(shù)靜電計可在單次掃描中檢測 10-7 至 10-15 安培的離子電流,,精度優(yōu)于 2%;標準配置法拉第杯探測器,,可測量 10-5 到 5×10-11Torr 的分壓,,可選電子倍增器,能檢測低至 5×10-14Torr 的分壓,。
功能特性:具備內置脫氣功能,,通過電子沖擊解吸清潔離子源,降低背景噪聲,;固件驅動的燈絲保護功能以 675Hz 持續(xù)監(jiān)控過壓,,保護燈絲壽命;通過 RS-232 接口與計算機通信,,可控制和監(jiān)控模擬,、直方圖掃描、泄漏檢測及探頭參數(shù)等,,便于集成到現(xiàn)有程序,。