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布魯克VERTEX和INVENIO傅立葉紅外光譜儀FT-IR用于碳化硅(SiC)研究
布魯克(Bruker)公司的VERTEX和INVENIO系列研究級傅立葉變換紅外光譜系統(tǒng),可以覆蓋從FIR到VIS/UV的寬光譜范圍,,擁有最佳的步進掃描技術和出色的性能,,可選真空光學臺,是上述許多應用的分析系統(tǒng),。
碳化硅(SiC)已成為工業(yè)電子領域最重要的寬禁帶半導體之一,,由于其高熱導率,、高擊穿場強、高電子飽和漂移速率等優(yōu)勢,,特別是對于功率半導體器件,,碳化硅優(yōu)于硅,更受青睞,。
成熟的商用碳化硅器件如碳化硅肖特基二極管和MOSFETs(金屬氧化物半導體場效應晶體管),,這些器件已應用于鐵路、工業(yè)逆變器,、航空航天,、可再生能源風力渦輪機或光伏發(fā)電,以及電動或混合動力汽車等領域,。企業(yè)和研究機構仍在致力于SiC相關的研究開發(fā)工作,,如進一步發(fā)展的“綠色"項目,,用于太陽能汽車的移動太陽能收集系統(tǒng)等,。
SiC與其他半導體材料的性能比較
在SiC材料的研究與開發(fā)中,傅立葉變換紅外光譜技術(FT-IR)是一種簡單而有效的研究其各種性能的工具,。它可以用于測定摻雜濃度,、外延層厚度或聲子光譜,對晶體結(jié)構和質(zhì)量提供有價值的信息,?;诟盗⑷~變換紅外的光致發(fā)光光譜技術(FT-PL)可以提供額外的信息,如能帶結(jié)構和電荷載流子的細節(jié),。透射光譜技術可以研究半導體的帶隙,、激子和其他電子特性。此外,,碳化硅雜質(zhì)和缺陷分析也是材料開發(fā)和質(zhì)量控制的重要步驟,。
VERTEX和INVENIO系列研究級傅立葉變換紅外光譜系統(tǒng),可以覆蓋從FIR到VIS/UV的寬光譜范圍,,擁有最佳的步進掃描技術和出色的性能,,可選真空光學臺,是上述許多應用的分析系統(tǒng),。