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      制氧機(jī)是以空氣作原料,，生產(chǎn)氧氣（或液氧）,、氮?dú)猓ɑ蛞旱┖蜌?、?氦,、氪-氙等混合氣的一種成套設(shè)備,。在一般情況下,，由于空氣分離設(shè)備多用來生產(chǎn)氧氣,，故人們習(xí)慣地稱它為“制氧機(jī)”,。
      世界上zui早生產(chǎn)制氧機(jī)的國家是德國和法國,。 1901年,，德國的林德公司在慕尼黑市建立低溫設(shè)備制造車間,，并于1903年生產(chǎn)出*臺(tái)10平方每小時(shí)制氧機(jī)。 1902年,，法國在巴黎建立空氣液化公司，繼德國之后,，于1910年開始生產(chǎn)制氧機(jī)。在三十年代以前,，基本上只有德國和法國生產(chǎn)制氧機(jī),。當(dāng)時(shí)制氧機(jī)主要是滿足焊接、切割用氧及化工廠所需的制氮設(shè)備,。生產(chǎn)的制氧機(jī)為中、小型,、其容量為2立方米每小時(shí)至600立方米每小時(shí)，品種約200種。采用的制氧機(jī)流程為高壓和中壓流程,。 1930-1950年,，除德國,、法國外，尚有蘇聯(lián),、日本、美國,、英國等國家也開始生產(chǎn)制氧機(jī)。
      在此期間,，隨著生產(chǎn)的發(fā)展,，制氧機(jī)使用領(lǐng)域不斷擴(kuò)大，促進(jìn)了大型制氧機(jī)的發(fā)展,。由于大型制氧機(jī)用于冶鎦金和合成氨工業(yè),。 1950年以后，除上述國家生產(chǎn)制氧機(jī)外,，還有捷克,、東德、匈牙利,、意大利等,。由于鋼鐵工業(yè)、氮肥工業(yè),、火箭技術(shù)的發(fā)展,，氧、氮耗量迅速增加,，促使制氧機(jī)向大型化發(fā)展,。1957年起，10000立方米每小時(shí)制氧機(jī)相繼問世,。1967年起,，據(jù)不*的統(tǒng)計(jì)，20000立方米每小時(shí)以上的大型制氧機(jī)不斷出現(xiàn),，達(dá)87套之多,，zui大機(jī)組為50000立方米每小時(shí),，更大型的機(jī)組正在研制中。 20多年來,，產(chǎn)品品種迅速增加,，并逐步形成了系列，如西德林德公司大型制氧機(jī)有1000-40000立方米每小時(shí)典型產(chǎn)品,，日本神鋼有OF型,，日本日立制作所有TO型，日本氧氣公司有NR型,；英國全低壓有50-1500噸/天系列產(chǎn)品等,。同時(shí)，大型制氧機(jī)基本上采用全低壓流程,?？傊蒲鯔C(jī)的發(fā)展是一個(gè)不斷完善的過程,，設(shè)備由小型,、中型向大型發(fā)展；流程從高壓（200大氣壓）,、中壓（50大氣壓）,、高低壓向全低壓（6大氣壓）方向發(fā)展，從而使制氧機(jī)的單位電耗,、金屬材料消耗降低,，運(yùn)黑心周期不斷延長(zhǎng)。制氧機(jī)技術(shù)的發(fā)展情況如下： 1891年,，德國林德公司在冷凍機(jī)械制造公司的實(shí)驗(yàn)室開始進(jìn)行空氣液化工作,。
      1895年，林德教授利用焦耳－湯姆遜效應(yīng)制成*臺(tái)液體空氣裝置,。 1901年，林德設(shè)計(jì)的*臺(tái)單級(jí)精餾塔的空分設(shè)備制成,。法國克勞特發(fā)明了膨脹機(jī),，在巴黎建立空氣液化公司。 1903年,，林德公司制成*臺(tái)工業(yè)性10立方米每小時(shí)的制氧機(jī),，采用高壓節(jié)流的高壓流程。 1910年,，法國制成*臺(tái)采用中壓帶活塞膨脹機(jī)的中壓流程的50立方米每小時(shí)制氧機(jī),。
      1920年，德國海蘭特發(fā)明了可生產(chǎn)液氧的高壓帶膨脹機(jī)的高壓流程,。 1924年,，法蘭克爾建議在大型空分設(shè)備上采用金屬填料的蓄冷器代替一般的熱交換器,。 1926年，法蘭克爾提出普通型式蓄冷器,。 1930年,，林德公司制成*臺(tái)工業(yè)規(guī)模的林德－法蘭克爾裝置，產(chǎn)量為255立方米每小時(shí),，純度為99.5%O2,。 1932年，透平膨脹機(jī)*次應(yīng)用于林德－法蘭克爾裝置上,，德國*次在冶金和合成氨工業(yè)中用氧,。 1939年，蘇聯(lián)創(chuàng)造了率的透平膨脹機(jī),，并開始研究全低壓空分設(shè)備,。 1947年，林德公司致力于全低壓工藝氧設(shè)備制造,。蘇聯(lián)開始設(shè)計(jì)全低壓流程的大型工藝氧裝置,。
      1949年，美國*次在29000立方米每小時(shí)制氧機(jī)上應(yīng)用板翅式換熱器,。 1952年,，奧地利使用純氧頂吹大轉(zhuǎn)爐煉鋼，促使冶金用氧劇增,。 1955年,，美國大力發(fā)展導(dǎo)彈，消耗大量液氧作為助燃劑,。
      1957年,，*臺(tái)自動(dòng)操作的120噸/天制氧機(jī)制成。 1960年,，日本完成了10000立方米每小時(shí)99.6%O2和10000立方米每小時(shí)99.99% N2的雙高純度的大型全低壓設(shè)備,。 1972年，法國制成世界上zui大容量的純氧空分設(shè)備,，1700噸/天O2和1500噸/天N2.