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1,、激光平面干涉儀的主要用途和特點 PG15-J4型激光平面干涉儀是一種使用方便的光學(xué)精密計量儀器，主要用于精密測量光學(xué)平面度,。儀器配有激光光源（波長為6328A）,。對于干涉條紋可目視,、測量讀數(shù)、照相留存記錄,。工作時對防震要求一般,。該儀器可應(yīng)用于光學(xué)車間、實驗室,、計量室,。如需配購相關(guān)的必要附件，可精密測量光學(xué)平板的微小楔角,、光學(xué)材料折射率n的均勻性,，光學(xué)鍍膜面或金屬塊規(guī)表面的平面度，90o棱角的直角誤差及角錐棱鏡單角和綜合誤差,。
2,、激光平面干涉儀的工作原理
本儀器工作基于雙光束等厚干涉原理。根據(jù)近代光學(xué)的研究結(jié)果,，光兼有波動與微粒兩重特性,。光的干涉現(xiàn)象是光的 波動性的特性。
3,、儀器技術(shù)參數(shù)： 1,、*標(biāo)準(zhǔn)平面（A面），不鍍膜,。 工作直徑：D1=Φ146mm
不平度小于0.02μm（λ/30）,。
2、第二標(biāo)準(zhǔn)平面（B面）,，不鍍膜,。 工作直徑：D2=Φ140mm
不平度小于0.03μm（λ/20）。
3,、準(zhǔn)直系統(tǒng)：孔徑F/2.8,， 工作直徑：D1=Φ146mm 焦距：f=400mm.
4、測微目鏡：焦距f=16.7mm,放大倍數(shù)β=15X,，視場角2w=40o
成像物鏡：I,、D=4.5 П、D=7 Ш,、D=10 f=16 f=23 f=37
5,、干涉室尺寸：深260*寬300*190mm。
6,、光源規(guī)格：激光ZN18（He-Ne）.
7,、儀器的外形尺寸：長*寬*高 350*400*720mm。
8,、儀器重量：100公斤,。