臺(tái)面尺寸（mm）

200×200

行程（mm）

25

分辨率（8細(xì)分）

0.0005

重復(fù)定位精度（mm）

0.003

螺桿導(dǎo)程（mm）

1.5

標(biāo)配電機(jī)

57步進(jìn)電機(jī)（1.8°）

靜轉(zhuǎn)距（N.M）

1.2

額定工作電流

2.8

速度（2細(xì)分）

10mm/s

中心承載（kg）

50

自重（kg

7.5

結(jié)

構(gòu)

參

數(shù)

X,Y軸行程

100 mm

臺(tái)面尺寸

300×300mm

螺桿導(dǎo)程

4 mm

導(dǎo)軌

精密交叉滾柱導(dǎo)軌

步進(jìn)電機(jī)（步距角）

42(1.8°)

主體材料

鋁合金

表面處理

陽極氧化發(fā)黑

臺(tái)面中心承載

50 kg

平臺(tái)自量

8.3 kg

精

度

參

數(shù)

分辨率

20μm（無細(xì)分）,，2.5μm（8細(xì)分）

速度

40mm /sec

重復(fù)定位精度

2μm

定位精度（選配光柵）

3μm

直線度

5μm

運(yùn)動(dòng)平行度

15μm

俯仰

50″

偏擺

25″

回程間隙

2μm

丟步

2μm

可加裝光柵尺（G）

可換伺服電機(jī)（D）