在工業(yè)界有不少制程需要在真空環(huán)境下進行,，許多高精密產(chǎn)品在制造過程中也需要使用程度不一的真空技術(shù)。典型應(yīng)用包括顯示面板中薄膜和基板之間的精密貼合制程,、半導(dǎo)體制程中的薄膜濺鍍,、晶圓檢測等。目前,，市場上苛刻的真空應(yīng)用環(huán)境包括：半導(dǎo)體生產(chǎn)制造、航空航天,、生命科學(xué),、醫(yī)療、納米技術(shù),、光電,、電信等行業(yè)。

真空的基本定義是指某一空間內(nèi)的氣體分子透過外力將其移走,，使氣壓下降小于大氣,，從而產(chǎn)生真空。在實驗室或工廠中制造真空的方法是利用泵在密閉的空間中（一般叫真空腔）抽出空氣以達到不同純度的真空,，一般分為低真空,、中等真空,、高真空或超高真空。

許多精密工業(yè)制程都必需在真空環(huán)境下進行,，目的是減少任何氣體份子在制程中對加工品的影響,。

工作在真空環(huán)境中的運動系統(tǒng)在設(shè)計時需要根據(jù)環(huán)境提供關(guān)鍵功能。涉及到的相關(guān)運動控制零組件如導(dǎo)軌,、基體等金屬材料,，以及電機散熱等都有嚴格要求，例如：

因為真空室提供的空間有限,，因此需要緊湊的設(shè)計。

真空腔需要加熱到100°C或以上以縮短抽真空和獲取較高等級的真空度所需要的時間,；

光柵組件需要特殊包裝和運輸,，因為組件上任何污染物如機油,，油脂，甚至指紋在真空中都會釋出氣體,，影響直空度,；

除了最基本的材料選擇以及表面處理,，在組裝時,，必須重點考慮消除可能聚集空氣的縫隙?？p隙可以緩慢的釋放聚集的空氣,。這些被稱之為虛假泄露，可能會延緩真空的建立,，甚至?xí)?dǎo)致無法建立真空,。孔或螺絲都需要排氣,。通過螺栓連接時（比如帶加強肋的結(jié)構(gòu)通過螺栓連接在一起）,，必須避免在表面之間形成縫隙，或者采取適當?shù)拇胧?，快速排放縫隙的氣體（比如排放通道）,。 

一些電子器件的子系統(tǒng),，比如控制器或放大器,，不能在真空環(huán)境下使用，所以必須將其布置在真空室的外面，這就需要考慮真空室的出入以及電纜布線設(shè)計,。某些電子部件,，比如電機、終端和室內(nèi)開關(guān),、解碼器讀取磁頭等,，則必須安裝在真空室內(nèi)，因此必須進行專門的設(shè)計才能適應(yīng)真空環(huán)境,。