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北京派迪威儀器有限公司
主營產(chǎn)品： 位移臺(tái),平移臺(tái),旋轉(zhuǎn)臺(tái),長焦顯微鏡,金相顯微鏡,生物顯微鏡 |
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2019-6-20 閱讀(2366)
實(shí)驗(yàn)室在進(jìn)行精密實(shí)驗(yàn)或測(cè)量時(shí),，環(huán)境振動(dòng)源的影響很容易成為一個(gè)問題。一些實(shí)驗(yàn)可能由于輕微振動(dòng)的影響而無法進(jìn)行,。例如,，許多激光應(yīng)用需要幾微米的光束腰；如果光斑的位置對(duì)系統(tǒng)性能十分關(guān)鍵,，那么幾微米振幅的振動(dòng)也會(huì)造成實(shí)驗(yàn)的失敗,。由于可見光的波長為次微米級(jí)，在振動(dòng)存在的情況下,，即使是次微米的振幅,，也會(huì)造成基于干涉測(cè)量的實(shí)驗(yàn)(包括全息攝影術(shù))無法進(jìn)行,。半導(dǎo)體晶片的光學(xué)/機(jī)械加工或探測(cè)都要求類似的穩(wěn)定性。除了外部振動(dòng)源的影響以外,，如果實(shí)驗(yàn)用到位移或振動(dòng)部件,，也常常需要把這些元件和其他振動(dòng)敏感的部件進(jìn)行隔離。
光學(xué)平臺(tái)就是為了解決這一問題產(chǎn)生的,，它采用主動(dòng)或被動(dòng)的隔振措施隔離振動(dòng),，提供水平、穩(wěn)定的臺(tái)面,。保證實(shí)驗(yàn)或測(cè)量不受振動(dòng)因素,。
為了達(dá)到理想的效果，光學(xué)平臺(tái)必須滿足幾個(gè)條件,。首先,，它必須有一個(gè)剛性臺(tái)面，能夠長期穩(wěn)定地固定實(shí)驗(yàn)儀器,。其次,，它沒有固有共振，而且能夠有效地抑制由實(shí)驗(yàn)中電機(jī)或移動(dòng)部分產(chǎn)生的任何振動(dòng),，并能夠隔離環(huán)境振動(dòng)對(duì)實(shí)驗(yàn)裝置的影響,。
在上述思路下，產(chǎn)生了多種多樣的光學(xué)平臺(tái)和光學(xué)面包板的設(shè)計(jì),?？傮w上，光學(xué)平臺(tái)都有一個(gè)剛性平坦而又不過重的上表面,，然后采用空氣彈簧來防止周邊環(huán)境振動(dòng)的干擾,。以前，臺(tái)面往往是由花崗巖,、水泥,、木、鋼及其他各種復(fù)合材料構(gòu)成,，以便在重量可接受的同時(shí)提高性能,。顯然，這些材料各有其優(yōu)缺點(diǎn)?，F(xiàn)在,，人們普遍認(rèn)為采用金屬蜂窩結(jié)構(gòu)的蜂窩臺(tái)體是光學(xué)平臺(tái)和光學(xué)面包板結(jié)構(gòu)的*材料。
光學(xué)平臺(tái)的指標(biāo)和檢測(cè)
如何鑒別光學(xué)平臺(tái)的品質(zhì),，選擇適用的光學(xué)平臺(tái),，以下提供了一些通用的指標(biāo)和檢測(cè)方法。
1,、檢查外觀
光學(xué)平臺(tái)外觀應(yīng)平整美觀,，各部位都應(yīng)無影響安全的銳角及銳邊，更重要的是檢查孔口倒角是否均勻一致(螺孔旋入后應(yīng)垂直平臺(tái)面),，四邊及其倒角是否平直一致,。如果加工精度不好，會(huì)出現(xiàn)孔口倒角大小不一致或臺(tái)面四周倒角不平滑的情況,。
2,、固有頻率(≤2Hz)
固有頻率也稱自然頻率、自振頻率,，只有在環(huán)境擾動(dòng)力頻率(f)與光學(xué)平臺(tái)的固有頻率(fo)的比值f/fo>√2時(shí)系統(tǒng)才有隔振作用,。所以光學(xué)平臺(tái)的固有頻率越低，隔振效果效果就越好,。
該指標(biāo)的檢測(cè)一般采用振動(dòng)頻譜分析儀及便攜式振動(dòng)分析儀來進(jìn)行多點(diǎn)測(cè)量,，如供應(yīng)商不具備儀器測(cè)量，也可用以下方法：用手用力壓下(或側(cè)推)平臺(tái),，然后迅速松開,，讓其大幅度上下振動(dòng)(或左右、前后擺動(dòng))起來,，如一秒鐘內(nèi)往復(fù)一次即為1Hz,，二次即為2Hz，依此類推,。須可粗略測(cè)得光學(xué)平臺(tái)的固有頻率,。
3、平面度(≤0.05mm/m2)
該指標(biāo)越小即表明臺(tái)面越平整,，調(diào)整光路就越容易,。一般出廠要求平面度小于0.05mm/m2，檢測(cè)方法一般有：光電自準(zhǔn)直儀法,、光學(xué)平面度檢查儀檢測(cè)法,、水平儀檢測(cè)法、激光平面度檢測(cè)儀等等,。對(duì)安裝在實(shí)驗(yàn)室的光學(xué)平臺(tái)平面度一般采用光電直準(zhǔn)儀和光學(xué)平直度檢查儀檢測(cè),，經(jīng)計(jì)算后得出。
4,、表面密迪紋理及粗糙度(Ra≤0.8μm)
該指標(biāo)的意義在于保證光學(xué)平臺(tái)有一個(gè)光滑但無反射的工作表面,。良好的表面粗糙度有利對(duì)實(shí)驗(yàn)儀器的保護(hù)，光學(xué)平臺(tái)出廠要求一般在Ra≤0.8μm以下,，粗糙度完成可采用對(duì)比樣板目測(cè)和粗糙度儀檢測(cè),，如果是現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)可采用粗糙度儀完成。該儀器具有便攜,、可直讀數(shù)據(jù),、精度高等優(yōu)點(diǎn),。
5、重復(fù)定位精度(±0.10mm)
該指標(biāo)意義在于保證光學(xué)平臺(tái)臺(tái)面在動(dòng)態(tài)條件下的水平,，以方便使用者高速光路,，檢測(cè)方法是將百分表(精度0.02mm)固定在穩(wěn)固的物體上，表頭頂住臺(tái)面,，然后在光學(xué)平臺(tái)工作臺(tái)面上反復(fù)加載或卸載,，待穩(wěn)定后讀數(shù)在范圍正負(fù)0.10mm以內(nèi)即為合格。
6,、工作臺(tái)面的振幅(So≤2μm)
在正常的使用環(huán)境下,，為了保證儀器的使用精度，光學(xué)平臺(tái)必須提供盡可能低的振幅,。同時(shí)也可通過臺(tái)面和地面振幅指標(biāo)的對(duì)比,，反映系統(tǒng)的隔振性能。如平臺(tái)振幅小于地面振幅,，則平臺(tái)是隔振的,，反之則是不隔振或振動(dòng)放大的。振幅指標(biāo)的檢測(cè),，類同固有頻率檢測(cè),。
選購光學(xué)平臺(tái)的幾個(gè)注意事項(xiàng)
1、隨著眾多研究機(jī)構(gòu)對(duì)光學(xué)平臺(tái)質(zhì)量要求的不斷提高和廠商對(duì)產(chǎn)品的不斷完善,，目前所研制出來的光學(xué)平臺(tái)款型繁多,，質(zhì)量也參差不齊，所以在購買光學(xué)平臺(tái)前,，首先要對(duì)企業(yè)做一定的了解,。其次是光學(xué)平臺(tái)的材料、加工精度,、隔振效果,、產(chǎn)品整體的合理性，平臺(tái)表面是否精細(xì),、表面處理的工藝性等,。
2、不能過于看重產(chǎn)品一兩項(xiàng)參數(shù),，應(yīng)該對(duì)光學(xué)平臺(tái)的整體進(jìn)行了解,，并進(jìn)行一定檢驗(yàn)。例如光學(xué)平臺(tái)中的重要參數(shù)如平面度,、平臺(tái)不平度,、固有頻率、振幅、工作壓力和zui大負(fù)載等參數(shù)都要有個(gè)詳細(xì)的了解并對(duì)其進(jìn)行檢測(cè),。這樣才可以根據(jù)一些重要參數(shù)來選擇自己想要購買的光學(xué)平臺(tái),。
3、在購買光學(xué)平臺(tái)的時(shí)候,，要多對(duì)比價(jià)格,，做到“心中有數(shù)”。需對(duì)照各企業(yè)產(chǎn)品把握一個(gè)尺度,，并不是越便宜越好，需選擇一款符合需求,，性價(jià)比高的光學(xué)平臺(tái)才是關(guān)鍵,。
