日本SMC 平穩(wěn)出氣閥XVD
高真空元件
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| 系列/CAD | 動作方式 | 軸密封形式 | 閥形式 | 材質 | 法蘭尺寸 | XLA | 氣控 | 波紋管密封 | 單作用 (N.C.) | 閥體: 鋁合金 波紋管: SUS316L | 16~80 | XLAV (帶電磁閥) | XLC | 雙作用 | XLCV (帶電磁閥) | XLF | O形圈密封 | 單作用 (N.C.) | 閥體: 鋁合金 | 16~160 | XLFV (帶電磁閥) | XLG | 雙作用 | 16~80 | XLGV (帶電磁閥) | XLD | 波紋管? O形圈密封 | 單作用 (N.C.) | 閥體: 鋁合金 波紋管: SUS316L | 25~80 | XLDV (帶電磁閥) | XLH | 手動 | 波紋管密封 | 手動 | 閥體: 鋁合金 波紋管: SUS316L | 16~50 | XLS | 電磁式 | 波紋管壓力平衡 | 單作用 (N.C.) | 16, 25 | 特長 | |
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鋁制快換接頭裝拆 高真空L型閥 XLAQ·XLDQ |
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| 系列/CAD | 動作方式 | 軸密封形式 | 閥形式 | 材質 | 法蘭尺寸 | XLAQ | 氣控 | 波紋管密封 | 單作用 (N.C.) | 閥體: 鋁 波紋管: SUS316L | 16~50 | XLDQ | 波紋管密封 O形圈密封 | 40,50 | 特長 | |
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注)對直通型無尺寸16的閥,。 | 系列/CAD (L型/直通型) | 動作方式 | 軸密封方式 | 閥形式 | 材質 | 法蘭尺寸 | XMA/XYA | 氣控 | 波紋管密封 | 單作用 (N.C.) | 閥體: SCS13 (相當SUS304) 波紋管: SUS316L | 16~80注) | XMC/XYC | 雙作用 | XMD/XYD | 波紋管 O型圈密封 | 單作用 (N.C.) | 閥體: SCS13 ?。ㄏ喈擲US304) 波紋管: SUS316L | 25~80 | XMH/XYH | 手動 | 波紋管密封 | 手動 | 閥體: SCS13 (相當SUS304) 波紋管: SUS316L | 16~50注) | 特長 | - 采用精密鑄造一體化結構,無氣體滯留,。
- 與鋁制高真空L型閥XL系列的安裝有互換性 (XM系列)
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| 系列 | 磁性開關種類 | 內容 | D Series | 有觸點的磁性開關 | 一般 (通用型) | 無觸點的磁性開關 | 一般 (通用型) |
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| 系列/CAD | 閥形式 | 使用流體 | 配管連接方式 | 配管尺寸 | XVD | 常斷 (加壓通/彈簧密封) | 氮氣,、空氣、惰性氣體等 | VCR® Swagelok® | 1/4B | 特長 | - 閥與針閥一體化結構使配管縮短為原來的1/4,。
- (閥芯)座部分采用間隙隔膜,,微粒子數量大幅降低。
- 伴隨主供氣初期供氣可進行流量調整,。
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| 系列/CAD | 使用壓力范圍 (Pa) | 使用流體 | 門尺寸 (高×寬) (mm) | 動作壓力 (MPa) | XGT | 大氣壓~1×10-6 | 惰性氣體系的真空 | 32×222 46×236 50×336 | 0.45~0.6 | 特長 | - 對于半導體裝置等場合,、適合于負載鎖定室和傳送室以及傳送室和過程室之間有門閥隔開的場合。
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| 系列/CAD | 使用環(huán)境壓力{Pa (ABS)} | 缸徑 (mm) | CYV | 大氣~1.3×10-4 | 15,32 | 特長 | - 真空環(huán)境內 (1.3×10-4Pa) 在搬運場合可以使用的氣缸,。
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