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主營產(chǎn)品： KRACHT流量計,KRACHT齒輪流量計,VSE流量計,meister流量開關(guān),麥斯特流量計 |
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2017-11-9 閱讀(911)
HYDAC傳感器是德國HYDAC工廠專業(yè)生產(chǎn)的產(chǎn)品,。HYDAC傳感器可提供產(chǎn)品型號直接在線咨詢！HYDAC傳感器報價也很實惠,，部分HYDAC傳感器有現(xiàn)貨在庫供應的,！今天我們主要談?wù)凥YDAC傳感器的發(fā)展情況！
HYDAC傳感器實物：
在各類傳感器中壓力傳感器具有體積小,、重量輕,、靈敏度高、穩(wěn)定可靠,、成本低,、便于集成化的優(yōu)點，可廣泛用于壓力,、高度,、加速度、液體的流量,、流速,、液位,、壓強的測量與控制。除此以外,，還廣泛應用于水利,、地質(zhì)、氣象,、化工,、醫(yī)療衛(wèi)生等方面。由于該技術(shù)是平面工藝與立體加工相結(jié)合,，又便于集成化,，所以可用來制成血壓計、風速計,、水速計,、壓力表、電子稱以及自動報警裝置等,。壓力傳感器已成為各類傳感器中技術(shù)zui成熟,、性能zui穩(wěn)定、的一類傳感器,。因此對于從事現(xiàn)代測量與自動控制專業(yè)的技術(shù)人員必須了解和熟識國內(nèi)外壓力傳感器的研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢,。
現(xiàn)代壓力傳感器以半導體傳感器的發(fā)明為標志，而半導體傳感器的發(fā)展可以分為四個階段：
1發(fā)明階段（1945-1960年）
這個階段主要是以1947年雙極性晶體管的發(fā)明為標志,。此后,，半導體材料的這一特性得到較廣泛應用。史密斯（C.S.Smith）與1945發(fā)現(xiàn)了硅與鍺的壓阻效應,，即當有外力作用于半導體材料時,，其電阻將明顯發(fā)生變化。依據(jù)此原理制成的壓力傳感器是把應變電阻片粘在金屬薄膜上,，即將力信號轉(zhuǎn)化為電信號進行測量,。此階段zui小尺寸大約為1cm。
2發(fā)展階段（1960-1970年）
隨著硅擴散技術(shù)的發(fā)展,，技術(shù)人員在硅的（001）或（110）晶面選擇合適的晶向直接把應變電阻擴散在晶面上,，然后在背面加工成凹形，形成較薄的硅彈性膜片,，稱為硅杯,。這種形式的硅杯傳感器具有體積小、重量輕,、靈敏度高,、穩(wěn)定性好、成本低、便于集成化的優(yōu)點,，實現(xiàn)了金屬-硅共晶體,，為商業(yè)化發(fā)展提供了可能。
3商業(yè)化階段（1970-1980年）
在硅杯擴散理論的基礎(chǔ)上應用了硅的各向異性的腐蝕技術(shù),，擴散硅傳感器其加工工藝以硅的各項異性腐蝕技術(shù)為主,，發(fā)展成為可以自動控制硅膜厚度的硅各向異性加工技術(shù)，主要有V形槽法,、濃硼自動中止法,、陽極氧化法自動中止法和微機控制自動中止法。由于可以在多個表面同時進行腐蝕,，數(shù)千個硅壓力膜可以同時生產(chǎn),，實現(xiàn)了集成化的工廠加工模式，成本進一步降低,。
4微機械加工階段（1980年-）
上世紀末出現(xiàn)的納米技術(shù),，使得微機械加工工藝成為可能。通過微機械加工工藝可以由計算機控制加工出結(jié)構(gòu)型的壓力傳感器,，其線度可以控制在微米級范圍內(nèi)。利用這一技術(shù)可以加工,、蝕刻微米級的溝,、條、膜,，使得壓力傳感器進入了微米階段,。
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