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維特銳集團(tuán)股份有限公司上海分公司
主營產(chǎn)品： KRACHT流量計(jì),KRACHT齒輪流量計(jì),VSE流量計(jì),meister流量開關(guān),麥斯特流量計(jì) |
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2017-11-9 閱讀(867)
HYDAC傳感器是德國HYDAC工廠專業(yè)生產(chǎn)的產(chǎn)品。HYDAC傳感器可提供產(chǎn)品型號直接在線咨詢,！HYDAC傳感器報(bào)價(jià)也很實(shí)惠,，部分HYDAC傳感器有現(xiàn)貨在庫供應(yīng)的！今天我們主要談?wù)凥YDAC傳感器的發(fā)展情況,！
HYDAC傳感器實(shí)物：
在各類傳感器中壓力傳感器具有體積小,、重量輕、靈敏度高,、穩(wěn)定可靠,、成本低、便于集成化的優(yōu)點(diǎn),，可廣泛用于壓力,、高度、加速度,、液體的流量,、流速、液位,、壓強(qiáng)的測量與控制,。除此以外，還廣泛應(yīng)用于水利,、地質(zhì),、氣象、化工,、醫(yī)療衛(wèi)生等方面,。由于該技術(shù)是平面工藝與立體加工相結(jié)合，又便于集成化,，所以可用來制成血壓計(jì),、風(fēng)速計(jì)、水速計(jì),、壓力表,、電子稱以及自動(dòng)報(bào)警裝置等。壓力傳感器已成為各類傳感器中技術(shù)zui成熟,、性能zui穩(wěn)定,、的一類傳感器。因此對于從事現(xiàn)代測量與自動(dòng)控制專業(yè)的技術(shù)人員必須了解和熟識國內(nèi)外壓力傳感器的研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢,。
現(xiàn)代壓力傳感器以半導(dǎo)體傳感器的發(fā)明為標(biāo)志,，而半導(dǎo)體傳感器的發(fā)展可以分為四個(gè)階段：
1發(fā)明階段（1945-1960年）
這個(gè)階段主要是以1947年雙極性晶體管的發(fā)明為標(biāo)志。此后,，半導(dǎo)體材料的這一特性得到較廣泛應(yīng)用,。史密斯（C.S.Smith）與1945發(fā)現(xiàn)了硅與鍺的壓阻效應(yīng),，即當(dāng)有外力作用于半導(dǎo)體材料時(shí)，其電阻將明顯發(fā)生變化,。依據(jù)此原理制成的壓力傳感器是把應(yīng)變電阻片粘在金屬薄膜上,，即將力信號轉(zhuǎn)化為電信號進(jìn)行測量。此階段zui小尺寸大約為1cm,。
2發(fā)展階段（1960-1970年）
隨著硅擴(kuò)散技術(shù)的發(fā)展,，技術(shù)人員在硅的（001）或（110）晶面選擇合適的晶向直接把應(yīng)變電阻擴(kuò)散在晶面上，然后在背面加工成凹形,，形成較薄的硅彈性膜片,，稱為硅杯。這種形式的硅杯傳感器具有體積小,、重量輕,、靈敏度高、穩(wěn)定性好,、成本低,、便于集成化的優(yōu)點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)了金屬-硅共晶體,，為商業(yè)化發(fā)展提供了可能,。
3商業(yè)化階段（1970-1980年）
在硅杯擴(kuò)散理論的基礎(chǔ)上應(yīng)用了硅的各向異性的腐蝕技術(shù)，擴(kuò)散硅傳感器其加工工藝以硅的各項(xiàng)異性腐蝕技術(shù)為主,，發(fā)展成為可以自動(dòng)控制硅膜厚度的硅各向異性加工技術(shù),，主要有V形槽法、濃硼自動(dòng)中止法,、陽極氧化法自動(dòng)中止法和微機(jī)控制自動(dòng)中止法,。由于可以在多個(gè)表面同時(shí)進(jìn)行腐蝕，數(shù)千個(gè)硅壓力膜可以同時(shí)生產(chǎn),，實(shí)現(xiàn)了集成化的工廠加工模式,，成本進(jìn)一步降低。
4微機(jī)械加工階段（1980年-）
上世紀(jì)末出現(xiàn)的納米技術(shù),，使得微機(jī)械加工工藝成為可能,。通過微機(jī)械加工工藝可以由計(jì)算機(jī)控制加工出結(jié)構(gòu)型的壓力傳感器，其線度可以控制在微米級范圍內(nèi),。利用這一技術(shù)可以加工、蝕刻微米級的溝,、條,、膜，使得壓力傳感器進(jìn)入了微米階段,。
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