維特銳集團股份有限公司上海分公司
主營產(chǎn)品: KRACHT流量計,KRACHT齒輪流量計,VSE流量計,meister流量開關(guān),麥斯特流量計 |
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2012-12-29 閱讀(1160)
實現(xiàn)世界*水平高精度及低電流消耗
歐姆龍株式會社研發(fā)了一款新型“壓力傳感器”(※1),,該傳感器能夠準確檢測出50cm高度范圍內(nèi)的氣壓變化。壓力傳感器應(yīng)用了歐姆龍核心技術(shù)之一的MEMS技術(shù),,實現(xiàn)了世界*水平的高精度和低電流消耗,,將于2013年1月開始發(fā)售。
商品詳情請登陸了解(http://www.omron.co.jp/ecb/index.html),。 (※2)有別于普通的計步器,,不僅可計量步數(shù),也用于計量中強度,、低強度運動量及生活中的運動量(使用于掃除機,、搬運輕量物品、烹飪等)的測量儀器,。 ■特點 1.小型封裝:長3.8mm 寬3.8mm 高0.92mm,。 2.小型芯片:CMOS回路與MEMS傳感器一體化,長1.9 mm,、寬1.9 mm,、厚0.5mm。 3.300~1100hPa的廣泛測量范圍 4.相對壓力精度達到相當于約50cm高度差所造成的氣壓變化6pa,。 5.0.5~9.5uA的低電流消耗有利于延長電池壽命。(※3) 6.內(nèi)含溫度傳感器,,能夠輔助修正因傳感器周圍溫度變化所造成的氣壓變化,。 7.采用I2C輸出方式,可串聯(lián)通信,。 (※3)消耗電流依賴于測定條件及動作模式,。
該壓力傳感器,,實現(xiàn)了CMOS回路與MEMS傳感器的工藝整合,,實現(xiàn)了長3.8mm×寬3.8mm、厚0.92mm的小型封裝,,更易于應(yīng)用在等小型設(shè)備中,。
適用于智能手機或運動計量器(※2)等機器的電池驅(qū)動部件,有利于延長電池的壽命,。將該傳感器應(yīng)用于運動計量器上,,可以測算出上下樓梯等存在高度差的運動形式數(shù)據(jù),解決一直以來的難題,。而應(yīng)用于汽車導航系統(tǒng)上,,可以確保在立體停車場導航的度以及識別一般道路和高架路,。另外,由于能測定感知房門開啟或窗戶破碎等情況下產(chǎn)生的氣壓變化,,也可應(yīng)用于安保領(lǐng)域,。
此外,,CMOS?MEMS一體化晶片也可銷售,,旨在滿足與其他傳感器安裝在同一主板上等需求,。
今后,歐姆龍將憑借*的MEMS技術(shù)持續(xù)為社會做貢獻。
本產(chǎn)品將于7月11日(周三)至7月15日(周五)在東京展覽中心舉辦的“第23屆微機械/MEMS展”上展出,。
(※1)壓力傳感器,指以真空為0基準的壓力檢測傳感器,。
■技術(shù)解說
1.檢測原理
本公司的MEMS壓力傳感器采用了針對血壓計中壓力傳感器研發(fā)的壓敏電阻方式。壓敏電阻方式,,是使用了通過加載在電阻元件上的力度變化所產(chǎn)生的電阻變化即壓電效應(yīng),,通過這一原理將壓力轉(zhuǎn)化為電流信號。
并且,,為了測定大氣壓力變化,,壓力傳感器采用MEMS接合技術(shù),將傳感器芯片的內(nèi)部進行真空密封,。因此,,能夠感知與真空狀態(tài)相比較大氣壓力的數(shù)值,也就是壓力值,。
2.技術(shù)特長
該傳感器,,將本公司長年研發(fā)的各種技術(shù)功能集中在一個芯片中,包括半導體回路設(shè)計技術(shù),、CMOS工藝技術(shù),、MEMS技術(shù)、壓力傳感器、模擬增幅回路,、數(shù)字處理回路,、不揮發(fā)性存儲等。因此,,實現(xiàn)了芯片的小型化,、高機能化、耐噪性能的提升,。
此外,,該傳感器使用MEMS接合技術(shù),可擴大傳感器芯片內(nèi)部的真空室容量,,將傳感器的輸入動態(tài)范圍zui大化,。從而實現(xiàn)高精度。
3.測定結(jié)果
結(jié)果能夠達到
■ 傳感器外觀