目錄:天津市拓普儀器有限公司>>物理教學(xué)儀器>>工程光學(xué)實驗>> TPY-1物理教學(xué)橢圓偏振測厚儀
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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產(chǎn)品詳細資料
儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率，精度高,、靈敏度高,、方便測量
光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定,、波長精度高
儀器配有生成表,、查表以及精確計算等軟件，方便用戶使用
儀器采用USB接口與電腦連接
| 測量范圍 | 薄膜厚度范圍：1nm-300nm,；折射率范圍：1-10 | 偏振器方位角范圍 | 0°- 180°讀取分辨率為0.05° |
| 入射光波長 | 632.8nm | 偏振器步進角 | 0.014°/步 |
| 入射角調(diào)節(jié)范圍 | 20°- 90°精度為0.05° | 測量膜厚 | ±1nm |
| 光學(xué)中心高 | 80mm | 折射率重復(fù)性精度 | ±0.01 |
| 測量厚度zui小示值 | ≤1nm | 外形尺寸 | 590×390×290（mm） |
| 允許樣品尺寸 | φ10-φ140mm,，厚度≤15mm | 主機重量 | 25kg |
TPY-1實驗主機、電控系統(tǒng),、USB接口,、二氧化硅膜樣片,、配套軟件
* 計算機及打印機（需另配）
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
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