摘要：本文對氣體產(chǎn)品中微量水分的常用測定方法，包括電解法,、露點法和光腔衰蕩光譜法的原理,、應(yīng)用進行了介紹，對幾種測定方法的檢出限,、適用范圍,、使用壽命等技術(shù)參數(shù)做了比較。
關(guān)鍵詞：氣體產(chǎn)品 水分 電解法 露點法 光腔衰蕩
氣體產(chǎn)品是指經(jīng)過物理或化學(xué)方法加工生產(chǎn)的能夠儲存,、運輸?shù)臍怏w或液化氣體,。在現(xiàn)代化的工業(yè)生產(chǎn)過程中，氣體產(chǎn)品的應(yīng)用非常廣泛,，根據(jù)氣體的性質(zhì),，可以作為燃氣、助燃氣,、反應(yīng)氣,、保護氣、傳導(dǎo)氣,、絕緣氣等等,。例如鋼鐵、有色金屬冶煉工業(yè)用到的氧氣,、氫氣,、一氧化碳；石油化學(xué)工業(yè)用到的乙烯、丁二烯,；電子工業(yè)用到的氮氣,、氬氣；電力工業(yè)用到的氫氣,、六氟化硫等,；食品工業(yè)用到的二氧化碳；多晶硅制造工業(yè)用到的氟化氫,、氯化氫以及醫(yī)療衛(wèi)生行業(yè)用到的氧氣,、氧化亞氮等?？梢哉f氣體產(chǎn)品是現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)的基礎(chǔ),。
在氣體產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中，由于生產(chǎn)工藝的影響,，總會帶入一些水分,。如空氣分離制造氮、氧,、氬等生產(chǎn)過程中,，由于原料空氣中水的存在，會隨著生產(chǎn)流程進入成品中,；電解水制造氧氣和氫氣的過程中,，水會隨著電解池的發(fā)熱進入到氣體成品中。氣體中的水分含量影響到氣體產(chǎn)品的質(zhì)量,，水分過高可以造成輸送氣體的管路銹蝕，造成化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)物分解,，造成絕緣性能下降等等嚴重后果,，因此氣體產(chǎn)品的國家標準中大多對氣體中水分含量有著嚴格的要求。例如GB/T3634.2-2011《純氫,、高純氫和純氫》中對純氫,、高純氫和純氫的水分含量分別要求低于10×10-6、3×10-6和0.5×10-6,。
氣體產(chǎn)品中的水分含量很低,，需要通過水分測定儀器來檢測。根據(jù)檢測原理的不同,，水分測定主要有以下三種測量方法：
一,、電解法
電解法是通過測量電解電流的方法來測定氣體中微量水分的。用涂覆了磷酸的兩電極形成一個電解池,，在兩電極之間施加一直流電壓,，氣體內(nèi)的水分被作為氣體吸濕劑的五氧化二磷膜層連續(xù)吸收，生成磷酸，并被電解為氫和氧,，同時五氧化二磷得以再生,。當吸收和電解達到平衡后，進入電解池的水分全部被五氧化二磷膜層吸收,，并全部被電解,。在環(huán)境溫度、壓力,、流經(jīng)電解池的氣體流量均為定值的情況下,，氣體的水分含量與電極之間的電解電流成正比，測量電極之間的電解電流就可計算出氣體的水分含量,。
電解法適用于不與五氧化二磷發(fā)生除吸濕以外的各種反應(yīng)的氣體中水分的測量,，與五氧化二磷反應(yīng)的如氨或含有氨的混合氣體不能使用電解法測量。受限于五氧化二磷的吸濕能力,，電解法水分測定儀對氣體中水分的檢測限大約在1×10-6,。
二、露點法
露點法是通過測量氣體露點的方法來測定氣體中微量水分的,。當一定體積的氣體在恒定的壓力下均勻的降溫時,，氣體和氣體中水分的分壓保持不變，直至氣體中的水分達到飽和狀態(tài),，該狀態(tài)下的溫度就是氣體的露點,。通常是在氣體流經(jīng)的測定室中安裝鏡面及其附件，通過測定在單位時間內(nèi)離開和返回鏡面的水分子數(shù)達到動態(tài)平衡時的鏡面溫度來確定氣體的露點,。一定的氣體水分含量對應(yīng)一個露點溫度,；同時一個露點溫度對應(yīng)一定的氣體水分含量。因此測定氣體的露點溫度就可以測定氣體的水分含量,。由露點值可以計算出氣體中微量水分含量,，由露點和所測氣體的溫度可以得到氣體的相對水分含量。
露點法適用于低沸點的氣體中微量水分的測定,，不適用于在水分冷凝前就冷凝的氣體如丙烯以及能與水分發(fā)生反應(yīng)的氣體中的水分測定,。露點法適用于露點在（0～-120）℃的氣體中水分的測定，相當于水分含量6.1×10-3～0.14×10-9,。實際上,，由于儀器結(jié)構(gòu)及制冷能力的原因，露點在-85℃以下時已經(jīng)難以測量,。此時對應(yīng)的氣體中水分含量約為0.2×10-6,。
三、光腔衰蕩光譜法
光腔衰蕩光譜法是通過測量光在光腔內(nèi)的反射振蕩衰減時間來測定氣體中微量水分的,。一束單波長激光進入光腔后,，光束在腔鏡之間來回反射振蕩,。當切斷光源后，其能量就會隨時間而衰減,，衰減的速度與光腔自身的損耗（包括透射,、散射）和腔內(nèi)被測組分（介質(zhì)）的吸收有關(guān)。被測組分的含量與其分子在光腔內(nèi)的密度成正比,。如果采用水分子的吸收峰譜線作為激光的波長,，則其衰蕩光譜將與水分含量有關(guān)。
光腔衰蕩光譜法的適用范圍較寬,，絕大多數(shù)氣體產(chǎn)品都可以用這種方法來測量其中的微量水分,。但是由于要使用激光作為光源，因此對受光照易分解或發(fā)生其他化學(xué)反應(yīng)的氣體如硅烷等不適用這種方法,。光腔衰蕩光譜法適用于水分含量在20×10-6～0.2×10-9的氣體中水分的測定,，是目前靈敏度高的商業(yè)化在線水分檢測方法。但是由于使用這種原理的水分測定儀結(jié)構(gòu)復(fù)雜,、價格昂貴,，因此這種儀器主要用于高純氣體、純氣體中微量水分的測定,。
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