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使用平行光表面檢查燈在潔凈室中發(fā)現(xiàn)微小顆粒與劃痕
點擊次數(shù):1377 發(fā)布時間:2021-11-25
很多行業(yè)的元器件,,如半導體元器件,、光學鏡頭,、液晶面板等在制造過程中,,空氣中不允許有過多的灰塵顆粒,;對于制造中的某些步驟,例如半導體,,在清洗,、載流子傳輸操作或涂覆光刻膠的過程中,由于空氣中的顆粒會影響產(chǎn)品質(zhì)量并造成重大損失,。在潔凈室中進行微粒檢查的工作是必要的,。
盡管潔凈室非常干凈,但是,,潔凈室中仍然存在極少量的灰塵,。除了空氣對流外,這些灰塵可能來自消耗品(例如手套和口罩)或由人體產(chǎn)生,。(例如來自皮膚表面的死皮細胞),。
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在潔凈室中,,一些沒有氣流的區(qū)域(死點)會慢慢積聚落塵,。如果空氣受到干擾,這些空氣中的微塵會直接落到產(chǎn)品或工作人員身上,,而不會被粒子計數(shù)器感應(yīng)到,。這些灰塵顆粒不易在潔凈室內(nèi)的空氣中漂浮。當它們因靜電或極性聚集在一起時,,很難將粘性灰塵吹到排氣口,。
對于這種吸附的顆粒,不僅空氣過濾器的收集效率低,,而且粒子計數(shù)器也難以感應(yīng),,而且這種顆粒一旦附著在重要的表面(如光罩)上,可能會影響產(chǎn)量,。(路徑越細,,影響越大。)
如果操作者在一般的白光下很難從背景中分辨出灰塵顆粒,,就無法有效地清潔灰塵,,從而造成損失,。因此,在潔凈室中,,如果可以使用特定波長的檢測工具或小角度的平行光檢查燈LUYOR-3320,,就能有效檢測產(chǎn)品上的粘塵,從而降低不良率,。