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[供應(yīng)]In-situ series-在線橢偏儀 返回列表頁
貨物所在地:上海上海市
更新時間:2024-09-22 21:00:05
有效期:2024年9月22日 -- 2025年3月22日
已獲點(diǎn)擊:427
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在線橢偏儀儀器介紹:
在鍍膜或刻蝕的過程中,,實(shí)時監(jiān)測樣品膜的膜厚以及光學(xué)常數(shù)(n,k)變化。
在線橢偏儀技術(shù)參數(shù):
·可實(shí)現(xiàn)快速,、實(shí)時在線監(jiān)測樣品膜層變化
在線橢偏儀主要特點(diǎn):
將激發(fā)和探測頭引入生產(chǎn)設(shè)備,,可實(shí)現(xiàn):
· 動態(tài)模式:實(shí)時監(jiān)測膜厚變化
· 光譜模式:監(jiān)測薄膜的界面和組分
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