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TGS 300真空紫外光譜儀產(chǎn)品簡(jiǎn)介

TGS300超環(huán)面光柵攝譜儀專為研究分析真空紫外光譜而開發(fā)設(shè)計(jì)。TGS300可在像面形成二維平場(chǎng),，配合陣列探測(cè)器實(shí)現(xiàn)真空紫外光譜范圍內(nèi)的一次性全譜采集,。安裝XY平臺(tái)上的標(biāo)準(zhǔn)DN100CF法蘭接口，可以方便地調(diào)整和優(yōu)化陣列探測(cè)器的中心波長(zhǎng)和聚焦特性,。

TGS 300真空紫外光譜儀技術(shù)特點(diǎn)
    單片式光學(xué)結(jié)構(gòu)確保光通量zui大化,，高光學(xué)穩(wěn)定性。
    HJY的超環(huán)面光柵技術(shù),，全光譜范圍內(nèi)優(yōu)異的消像差能力,。
    超長(zhǎng)的40mm光譜長(zhǎng)度，橫向滑動(dòng)CCD測(cè)量更寬的光譜,，縱向滑動(dòng)CCD優(yōu)化成像質(zhì)量,。
    光譜覆蓋zui低至10nm，10-30nm具有超高分辨率,。
    支持超高真空度10^-9mbar,，可接入同步輻射裝置。

典型應(yīng)用
   紫外和紫外等離子體光譜分析
   紫外光源表征
   激光高次諧波研究
   EUV光源表征

技術(shù)指標(biāo)

三塊標(biāo)準(zhǔn)光柵可選
2105 gr/mm	光譜范圍: 9.5 – 32 nm 中心波長(zhǎng): 12nm
450 gr/mm	光譜范圍: 10 – 110 nm 中心波長(zhǎng): 15nm
290 gr/mm	光譜范圍: 15.5 – 170 nm 中心波長(zhǎng) : 35nm
光學(xué)設(shè)計(jì)	HJY超環(huán)面消像差光柵
焦長(zhǎng)	300 mm
孔徑	f/20
分辨率	低至0.04nm (*)
波長(zhǎng)驅(qū)動(dòng)	固定
高真空	10-6 mbar
真空泵法蘭	DN40 KF
Slits	嵌入式
陣列探測(cè)器法蘭	DN100CF
可選項(xiàng)：
狹縫	手控或自動(dòng)
多光柵切換裝置	光柵滑塊可裝載3塊光柵,，真空中靈活切換
超高真空	配合DN63CF真空泵法蘭可達(dá)10^-9 mbar超高真空
(*) 使用2105線/mm光柵和10μm狹縫在波長(zhǎng)20nm處測(cè)量,。

附件
    前鏡腔，配備兩塊超環(huán)面鏡,，實(shí)現(xiàn)光源和單色儀之間的光學(xué)匹配
    后鏡腔,，配備兩塊超環(huán)面鏡，實(shí)現(xiàn)單色儀和樣品室之間的光學(xué)匹配
    樣品室,，可搭載4塊直徑不大于25mm的樣品
    偏振插片
    制冷機(jī),，zui低至4K
    真空泵