儀器簡介：
 橢圓偏振光譜是一種無損無接觸的光學(xué)測量技術(shù),，基于測量線偏振光經(jīng)過薄膜樣品反射后偏振狀態(tài)發(fā)生的改變,，通過模型擬合后得到薄膜、界面和表面粗糙層的厚度以及光學(xué)性質(zhì)等等,，可測厚度范圍為幾埃至幾十微米,。此外，還可以測試材料的反射率及透過率,。

技術(shù)參數(shù)：

       * 光譜范圍: 190-885 nm（可擴(kuò)展至2100nm）
       * 微光斑可選50µm-100µm-1mm
       * 探測器：分別針對紫外,，可見和近紅外提供優(yōu)化的PMT和IGA探測器
       * 自動樣品臺尺寸：多種樣品臺可選
       * 自動量角器：變角范圍40° - 90°，全自動調(diào)整,，小步長0.01°

主要特點：
       * 50KHz 高頻PEM 相調(diào)制技術(shù),，測量光路中無運動部件
       * 具備超薄膜所需的測量精度，超厚膜所需的高光譜分辨率
       * 具有毫秒級超快動態(tài)采集模式,，可用于在線實時監(jiān)測
       * 自動平臺樣品掃描成像,、變溫臺、電化學(xué)反應(yīng)池,、液體池,、密封池等多種附件
       * 配置靈活