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產(chǎn)地類別	國(guó)產(chǎn)	產(chǎn)品種類	其他
價(jià)格區(qū)間	面議	介質(zhì)分類	液體
應(yīng)用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,生物產(chǎn)業(yè)

皓而普S48-300/HMT 質(zhì)量流量計(jì)

使用范圍

質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造,、真空鍍膜,、分析、化工,、環(huán)境等行業(yè)的氣流測(cè)量與控制,。

1.2 質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)

質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC)，具備流量測(cè)量和流量控制兩種功能,。

質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Meter 縮寫為MFM),，只有流量測(cè)量功能，不具備氣流控制功能,。

1.3 S48 300/HMT質(zhì)量流量控制器的特點(diǎn)

☆ S48 300/HMT型質(zhì)量流量控制器是在引進(jìn)HORIBA STEC技術(shù)基礎(chǔ)上,，結(jié)合國(guó)內(nèi)需要而研制的一種數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品，采用當(dāng)今*的32位ARM系列處理器做數(shù)字控制,。具有流量精度高,、線性好、零漂小,、氣流響應(yīng)速度快,、過(guò)沖小等特點(diǎn)。

☆ RS232/485串口,， Modbus（RTU）開(kāi)放協(xié)議,。協(xié)議簡(jiǎn)單可靠，兼容性強(qiáng),，易于組網(wǎng),。配合上位機(jī)，可進(jìn)行各種復(fù)雜的計(jì)量,、控制操作及組態(tài),。

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度,、壓力的變化而變化,。氣阻較小,，工作壓力范圍寬。

☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu),，氣密材料采用PTFE,、氟橡膠等。耐腐蝕性強(qiáng),。

☆可任意角度安裝,。

☆兼容數(shù)字和模擬控制及顯示，使用方便,。易于與電氣或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合,。

配合MT-50或51系列流量顯示儀，可對(duì)氣流的瞬時(shí)流量進(jìn)行精確測(cè)量和計(jì)量,。

皓而普S48-300/HMT 質(zhì)量流量計(jì)

S48 300/HMT數(shù)字流量控制器技術(shù)指標(biāo)

編號(hào)	項(xiàng)目	S48 300/HMT
1	流量規(guī)格	(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10,20,30,50)L/min
2	調(diào)節(jié)閥類型	電磁調(diào)節(jié)閥
3	調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài)	常閉
4	安裝角度	任意
5	流量控制范圍	2%-100%F.S.
6	流量測(cè)量范圍	0-100%F.S.
7	響應(yīng)時(shí)間	≤ 1 sec
8	工作環(huán)境溫度	5-50℃
9	精度保證溫度	15-35℃
10	精度	±1.0% S.P.(≥30% F.S.）,；±0.30% F.S.（＜30% F.S.)
11	線性精度	±0.5%F.S.
12	重復(fù)性	±0.2%F.S.
13	工作壓差	-5L/min (50-300)kPa(D) 10L/min-30L/min (100-300)kPa(D) 50L/min (150-300)kPa(D)
14	耐壓	3MPa(G)
15	泄漏率	＜1×10-8Pa·m3/s(He)
16	接觸氣體材料	316L，Viton? 氟橡膠,，PTFE
17	管路接頭	Swagelok:Φ6mm,Φ10mm,，Φ1/4″; VCR:1/4″, 3/8″
18	供電電源	±15V（±5%），＋15V,150mA,；－15V,200mA
19	設(shè)定信號(hào)	數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V,，輸入阻抗＞10kΩ
20	流量輸出信號(hào)	數(shù)字：RS485/RS232 模擬：0 - +5V，負(fù)載能力≤3mA
21	通訊接口	數(shù)字RS232/RS485,，波特率4800/9600/19200bps,， Modbus RTU 協(xié)議從機(jī)，設(shè)備號(hào)可選范圍0-15
22	重量(kg)	0.9