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質量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制,。質量流量計（Mass Flow Meter縮寫為MFM）,用于對氣體的質量流量進行精密測量。

S49 31/MT 質量流量計和質量流量控制器特點：

☆主體采用不銹鋼（316L）結構,，氣密材料采用VITON?,、聚四氟乙烯等,。適用于各種耐腐蝕性氣體。

☆耐壓高及適用于真空條件下工作,。低壓降,。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度,、壓力的變化而變化,。

☆具有精度高、重復性好,、響應速度快,、軟啟動、工作穩(wěn)定可靠,。

☆可任意位置安裝,。電氣操作控制顯示，使用方便,。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合,。

☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行精確計量,。

S49 31/MT 質量流量計 和質量流量控制器主要應用領域：

半導體制造行業(yè)的氣體流量控制,；

分析儀器設備的氣體計量與控制；

各種形式的真空鍍膜設備,；

環(huán)境檢測與分析設備,；

化工、石化,、食品,、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測和控制,；

特種材料表面處理裝置與燃燒控制,；

混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測系統(tǒng)等。

2,、S49系列質量流量控制器和質量流量計型號

S49 31 系列質量流量控制器,，S49為質量流量控制器和質量流量計產品，31/MT為本公司此產品設計序列號,。

其中：S49 31/MT 系列為質量流量控制器,。

S49 31A/MT 系列為質量流量計。

質量流量計用于氣體質量流量精確測量計量,；質量流量控制器不但具有質量流量計的測量計量功能,，還具有自動控制氣體流量的功能。

3、主要技術指標

質量流量計和質量流量控制器流量出廠通常用氮氣(N2)標定,。

質量流量單位為：標準狀態(tài)mL/min （毫升/分鐘）（SCCM行業(yè)標準）,；

標準狀態(tài)L/min （升/分鐘）（SLM行業(yè)標準）。

標準狀態(tài)為：溫度----0℃,；

氣壓----101325Pa

F.S(Full Scale):表示滿量程值

表1 S49 31/MT流量控制器,、S49 31A/MT流量計技術指標

編號	項目	S49 31/MT	S49 31A/MT
1	流量規(guī)格	(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (0～1,2,3,5)L/min
2	調節(jié)閥類型	電磁調節(jié)閥
3	調節(jié)閥靜止狀態(tài)	常閉
4	準確度	±1%F.S(10mL/min～5L/min規(guī)格，其余規(guī)格≤±2% F.S)
5	線性	±1.0%F.S,，±1.5%F.S
6	重復精度	±0.2%F.S
7	響應時間	(3～4)s
8	工作壓差范圍	(0.05～0.3)MPa; (0.1～0.3)MPa(10～30)L/min
9	耐壓	3MPa; 10MPa
10	工作環(huán)境溫度	5℃～45℃
11	材料	不銹鋼316L
12	標準密封材料	Viton?,， EPDM，或其他由用戶
13	漏率	1×10-9atm.mL/s (He)
14	接頭	Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR),，軟管接頭Ф4mm～Ф10mm 或其他
15	輸入輸出信號	0V～＋5.00V (輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出電流能力≤3mA)
16	供電電源	±15V（±2%）（＋15V 50mA, －15V 200mA）
17	外形尺寸mm	134×134×38
18	重量kg	1.0