使用范圍：

S48 300/HMT 質(zhì)量流量計(jì)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜,、分析、化工,、環(huán)境等行業(yè)的氣流測(cè)量與控制,。

質(zhì)量流量控制器和質(zhì)量流量計(jì)

質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC)，具備流量測(cè)量和流量控制兩種功能,。

質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Meter 縮寫為MFM),，只有流量測(cè)量功能，不具備氣流控制功能,。

S48 300/HMT 質(zhì)量流量計(jì)的特點(diǎn)

☆ 在引進(jìn)HORIBA STEC技術(shù)基礎(chǔ)上,，結(jié)合國(guó)內(nèi)需要而研制的一種數(shù)字式質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品，采用當(dāng)今*的32位ARM系列處理器做數(shù)字控制,。具有流量精度高,、線性好、零漂小,、氣流響應(yīng)速度快,、過沖小等特點(diǎn)。

☆ RS232/485串口,， Modbus（RTU）開放協(xié)議,。協(xié)議簡(jiǎn)單可靠，兼容性強(qiáng),，易于組網(wǎng),。配合上位機(jī)，可進(jìn)行各種復(fù)雜的計(jì)量,、控制操作及組態(tài),。

☆耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度,、壓力的變化而變化。氣阻較小,，工作壓力范圍寬,。

☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用PTFE,、氟橡膠等,。耐腐蝕性強(qiáng)。

☆可任意角度安裝,。

☆兼容數(shù)字和模擬控制及顯示,，使用方便。易于與電氣或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合,。配合MT-50或51系列流量顯示儀,，可對(duì)氣流的瞬時(shí)流量進(jìn)行精確測(cè)量和計(jì)量,。

S48 300/HMT數(shù)字流量控制器技術(shù)指標(biāo)

訂貨規(guī)范

在訂貨時(shí)應(yīng)指明是質(zhì)量流量控制器還是質(zhì)量流量計(jì),，指明S48 300/HMT產(chǎn)品型號(hào)，流量規(guī)格,，使用氣體種類,，管接頭種類。

例如：MFC(或MFM)-S48 300/HMT(產(chǎn)品型號(hào))500mL/min(流量規(guī)格) N2(氣體種類) Φ6(管路接頭)