高純氣體的分析是一個(gè)復(fù)雜的過程,，不僅需要高靈敏度的檢測(cè)器，還需要樣品本身的特性和背景,，如吸附,、取樣和分析過程中是否有空氣混入，系統(tǒng),、系統(tǒng)的死體積等環(huán)節(jié),。氦離子氣相色譜儀已成為國(guó)內(nèi)專業(yè)的高純氣體分析系統(tǒng)，并順利完成分析氣體中的微量雜質(zhì),，尤其是ppb級(jí)雜質(zhì),。
氦離子氣相色譜儀適用于高純氣體和電子工業(yè)氣體中痕量雜質(zhì)的檢測(cè)，檢測(cè)濃度為5ppb,。儀器配備高靈敏度氦電離檢測(cè)器,，進(jìn)樣閥配備吹掃保護(hù)氣路；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì),，并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校準(zhǔn)系統(tǒng),，保證不同背景氣體樣品的進(jìn)樣量,。
氦離子氣相色譜儀適用于高純氫氣、氧氣,、氬氣,、氮?dú)狻⒑?、氖氣,、氪氣、氙氣,、二氧化碳等氣體中微量雜質(zhì)的檢測(cè),。儀器配備高靈敏度氦電離（PDHID）檢測(cè)器，采用中心切割反吹掃技術(shù),，配備帶吹掃保護(hù)氣路的進(jìn)樣切換閥和進(jìn)口氦氣凈化器,。通過無死體積采樣或在線采樣，一次性完成上述高純氣體中H2,、O2(AR),、N2、CH4,、Co,、CO2或C1-C4等碳?xì)浠衔锏瘸Ｒ婋s質(zhì)的檢測(cè)，具有檢測(cè)限達(dá)到ppb級(jí),，重復(fù)性RSD≤1%,。
氦離子氣相色譜儀適用于高純氣體、超高純氣體和電子工業(yè)氣體中微量雜質(zhì)的檢測(cè),。以氣相色譜儀為載體,，配備氦電離（PDHID）檢測(cè)器；采用四閥五柱中心切割反吹掃技術(shù),。取樣,、切換閥均為六通或十通閥，帶吹掃保護(hù)氣路,，以上部件與氦氣凈化器和死體積取樣閥一起構(gòu)成了一套完整的高純氣體分析解決方案,。
