高純氬在半導(dǎo)體工業(yè)中用作生產(chǎn)高純硅和鍺晶體的保護氣體,；可作為惰性氣體用于系統(tǒng)清洗,、屏蔽和增壓,；它用于化學(xué)氣相沉積、濺射和退火,。高純氬氣也可用作色譜載氣。氬氣廣泛用于填充弧光燈,、熒光燈和電子管,；焊接保護氣體,；在鈦、鈷等活性金屬的生產(chǎn)中用作保護氣體,；用于黑色冶金中特殊鋼的轉(zhuǎn)化,。
高純氬分析色譜儀采用加氬放電電離檢測器,，主要用于高純氬和超純氬中H2、O2,、N2、CH4,、CO和CO2的分析。所有連接接口均采用1/8"VCR，保證儀器的氣密性,。安裝的閥門經(jīng)過嚴(yán)格的泄漏測試，安裝在帶有Ar氣吹掃的外殼內(nèi),，與大氣*隔離。因此,，環(huán)境污染以確保儀器具有更高的穩(wěn)定性,、靈敏度和更長的使用壽命。
高純氬分析色譜儀適用于高純氣體,、超高純氣體和電子工業(yè)氣體中痕量雜質(zhì)的檢測,。高純氬氣專用色譜儀配備氬離子化（AID）檢測器采用6通或10通閥,，帶吹掃保護氣路。以上部件與凈化器,、無死體積進樣閥等組成一整套高純氣體分析整體及解決方案,。
高純氬分析色譜儀的性能特點：
1、4.3英寸觸摸屏液晶中文顯示,，實時顯示各通道溫度和運行情況,；
2、開機自檢,，五級獨立控溫,；
3、任何傳感器開路,，儀器自動顯示并報警,；
4,、高精度雙穩(wěn)定氣路,，可同時安裝四個檢測器；
5,、四個外部事件功能支持多閥切換,；
6、可選擇電子流量壓力顯示系統(tǒng)和內(nèi)置工作站設(shè)備,。
