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北京慧龍環(huán)科環(huán)境儀器有限公司
主營產(chǎn)品： 奧立龍水質(zhì)分析儀,WTW水質(zhì)分析儀 |
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公司信息
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VTC-2DC2英寸500W直流等離子磁控濺射鍍膜儀
| 參考價 | 面議 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 型號 VTC-2DC
- 品牌 合肥科晶
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 所在地 國外
更新時間：2022-11-21 09:59:02瀏覽次數(shù)：1751
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VTC-2DC2英寸500W直流等離子磁控濺射鍍膜儀
產(chǎn)品概述：
VTC-2DC2英寸500W直流等離子磁控濺射鍍膜儀是一款小型的直流（DC）等離子體磁控濺射鍍膜儀系統(tǒng)，系統(tǒng)中包含了所有所需的配件,，如500W（600V）的DC電源,、2英寸的磁控濺射頭、石英真空腔體,、真空泵和溫度控制器等,。對于制作一些金屬薄膜，它是一款物美價廉的實驗手,。
主要參數(shù)：
- 輸入電源：220V AC 50Hz
- 輸出電壓：600 VDC
- 輸出功率：大500W
- 整機功率：1000W（包括真空泵）
濺射腔體：
- 采用石英腔體,，尺寸：166mm OD x 150mm ID x250mm H（配置直靶頭）
- 尺寸：166mm OD x 150mm ID x290mm H（配置帶角度傾斜靶頭）
- 密封法蘭:直徑為165mm，采用金屬制作,，密封采用O形密封圈
濺射頭&樣品臺：
- 濺射頭安裝靶材直徑為2英寸,，同時可選配1英寸濺射頭
- 儀器中安裝有直徑為50mm的不銹鋼樣品臺，其與濺射頭之間距離可調(diào)
- 樣品臺可加熱,，加熱溫度RT-500℃（RT為室溫）
- 安裝有一可手動操作的擋板
- 大可制膜的直徑為:2英寸（標(biāo)配2英寸,，如果需要更大尺寸請與我們銷售聯(lián)系）
真空系統(tǒng)：
- 安裝有KF25真空接口
- 數(shù)字真空壓力表（Pa）
- 此系統(tǒng)運行需要Ar氣，并且氣瓶上安裝有減壓閥（設(shè)備中不包含）
- 采用機械泵< 3.8E-2 Torr(參考值,，詳情請點擊）
- 采用渦旋分子泵< 3.8E-5 Torr(參考值，詳情請點擊）
- 可在本公司選購各種真空泵
進(jìn)氣：
- 設(shè)備上配1/4英寸進(jìn)氣口方便連接氣瓶
- 設(shè)備前面板上裝有一氣流調(diào)節(jié)旋鈕,，方便調(diào)節(jié)氣流
靶材：
- 靶材尺寸要求：Φ50mm×(0.1-5)mm(厚度)
- 可在本公司選購各種靶材
薄膜測厚儀（可選）：可在本公司選購薄膜測厚儀安裝在濺射儀上
產(chǎn)品外形尺寸：
540mm L x540 mm W x1100mm H
凈重：70 kg（不包括泵）
質(zhì)量認(rèn)證：CE認(rèn)證
- 使用提示：
有時為了達(dá)到理想的薄膜厚度,，可能需要多次濺射鍍膜 - 為了得到的薄膜質(zhì)量，必須通入高純氣體（建議> 5N）
- 在濺射鍍膜前,，確保濺射頭,、靶材、基片和樣品臺的潔凈
- 要達(dá)到薄膜與基底良好結(jié)合,，請在濺射前清潔基材表面
- 超聲波清洗（詳細(xì)參數(shù)點擊下面圖片）：（1）丙酮超聲（2）異丙醇超聲-去除油脂（3）吹氮氣干燥（4）真空烘箱除去水分,。
- 等離子清洗（詳細(xì)參數(shù)點擊下面圖片）：可表面粗糙化，可激活表面化學(xué)鍵,，可祛除額外的污染物,。
- 制造一個薄的緩沖層（5納米左右）：如Gr,，Ti，Mo,，Ta,，可以應(yīng)用于改善金屬和合金的附著力。
警告：
- 注意：產(chǎn)品內(nèi)部安裝有高壓元件,，禁止私自拆裝,，帶電移動機體。
- 氣瓶上應(yīng)安裝減壓閥（設(shè)備標(biāo)配不包括）,，保證氣體的輸出壓力限制在0.02兆帕
以下,，以安全使用。
濺射頭連接到高電壓,。為了安全,，操作者必須在關(guān)閉設(shè)備前裝樣和更換靶
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