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德國IFG 掃描電鏡微區(qū)X射線熒光分析系統(tǒng)iMOXS-SEM
*實(shí)現(xiàn)在掃描電子顯微鏡上安裝聚焦X射線微區(qū)熒光分析! SEM能譜分析和微區(qū)X射線熒光的優(yōu)缺點(diǎn) Ø SEM能譜分析的特點(diǎn): Ø 空間分辨率相對(duì)較高: 亞微米級(jí) Ø 檢測(cè)極限在百分比級(jí): 1~0.1%（weight）. 不適合分析微量元素. Ø 電子束韌致輻射（bremsstrahlung）造成譜背底很大 X射線激發(fā)熒光分析的特點(diǎn): Ø 檢測(cè)極限提高20~50倍, 可達(dá)到<50ppm Ø 激發(fā)深度可達(dá)幾十微米, 特別適合多層鍍層的分析 Ø 非導(dǎo)電材料可直接分析 Ø 空間分辨率較差, 約幾十微米 Ø 結(jié)合SEM能譜和X射線熒光兩個(gè)譜, 可以大大提高分析的精確度. iMOXS.SEM系統(tǒng)由以下單元組成: - 小功率﹑空冷的微型聚焦X射線管（陽極材料有多種選擇） - 聚焦型多毛細(xì)管X射線光學(xué)系統(tǒng) - 掃描電鏡接口和對(duì)中法蘭 - 高壓控制器和電源單元（可選手動(dòng)控制型或PC控制型） - iMOXS-Quant軟件包, 包括儀器控制﹑譜圖定性和定量分析等模塊
-提高微量元素分析的靈敏度
-更大的信息深度, 有益于鍍層厚度分析
-將電子束微束分析和微區(qū)X射線熒光分析結(jié)果相結(jié)合, 顯著改善分析的精度
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