DP-RTS-5型雙電測(cè)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)是個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序,通過(guò)此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)行統(tǒng)計(jì)分析,。 測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù),,把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析,然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格,,圖形直觀地記錄,、顯示出來(lái)。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,,還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,,讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)行各種數(shù)據(jù)分析 參數(shù): 測(cè)量范圍 | 電阻率:0.001~200Ω.cm(可擴(kuò)展); 方塊電阻:0.01~2000Ω/□(可擴(kuò)展),; 電導(dǎo)率:0.005~1000 s/cm; 電阻:0.001~200Ω.cm,; | 可測(cè)晶片厚度 | ≤3mm | 可測(cè)晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái)),; 200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái)); 400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái)),; | 恒流源 | 電流量程分為0.1mA,、1mA、10mA,、100mA四檔,,各檔電流連續(xù)可調(diào) | 數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV,; 輸入阻抗:>1000MΩ,; 度:±0.1% ,; 顯示:四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示;性,、量程自動(dòng)顯示,; | 四探針探頭基本標(biāo) | 間距:1±0.01mm; 針間緣電阻:≥1000MΩ,; 機(jī)械游移率:≤0.3%,; 探針:碳化鎢或速鋼Ф0.5mm; 探針壓力:5~16 牛頓(總力),; | 四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見(jiàn)探頭附帶的合格證) | 模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差 ( 按JJG508-87行) | 0.1Ω,、1Ω、10Ω,、100Ω小于等于0.3%±1字 | 整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差 | (用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±4% | 整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤4% | 計(jì)算機(jī)通訊接口 | 并口 | 標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度:23±2℃,; 相對(duì)濕度:≤65%; 無(wú)頻干擾,; 無(wú)強(qiáng)光直射 | |