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華宇凈化潔凈室空氣過濾器檢漏方法及測試方案
華宇凈化潔凈室空氣過濾器檢漏方法及測試方案
1,、過濾器分類 1） HEPA過濾器（HEPA Filter） HEPA：High Efficiency Particulate Air 是率空氣微粒過濾之意。HEPA表
1,、過濾器分類
1） HEPA過濾器（HEPA Filter） HEPA：High Efficiency Particulate Air 是“率空氣微粒過濾”之意。HEPA表示過濾器,，定義為：對粒徑為0.3μm的微粒過濾效率大于等于 99.97%,，如前所述，我們在使用過濾器時,，是必須將效率和試驗方法一并表示出來的,，如：99.97%（0.3μm、DOP）,，表示是用DOP試驗 方法測試出的,。
2） ULPA過濾器（ULPA Filter）
ULPA：Ultra Low Penetration Air，是超過濾器比HEPA過濾級別更高的過濾器,，定義為0.1-0.2μm的粒子過濾效率大于等于99.999%的超過濾器。該過濾器用于藥廠,、電子廠,、芯片廠等，家電產(chǎn)品中不用,。
2,、過濾器試驗方法
1） 鈉焰法 Sodium Flame
源于英國，中國通行,，歐洲部分國家于20世紀(jì)70-90年代實行,。
試驗塵源為單分散相氯化鈉鹽霧。“量”為含鹽霧時氫氣火焰特征光的光強,。主要測試儀器為光度計,。
鹽水在壓縮空氣的攪動下飛濺，經(jīng)干燥形成微小鹽霧并進(jìn)入風(fēng)道,。在過濾器前后分別采樣,，含鹽霧氣樣使氫氣火焰的顏色變藍(lán)、亮度增加,。以火焰亮度來判斷空氣的鹽霧濃度,，并以此確定過濾器對鹽霧的過濾效率,。
相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)：我國有GB6165-85，目前國內(nèi)有關(guān)部門正在修訂該標(biāo)準(zhǔn),，是廢止還是繼續(xù)沒有定論,。歐洲已不再使用該方法。
2)油霧法 Oil Mist
原西德,，原蘇聯(lián),，和中國采用過該方法。
塵源為油霧,。“量”為含油霧空氣的濁度,。儀器為濁度計。以氣樣的濁度差別來判定過濾器對油霧顆粒的過濾效率,。
油霧法在德國本土已經(jīng)成為歷史,。中國僅有少量軍工單位依然使用油霧法，因為原蘇聯(lián)幫中國搞過濾器時使用的是油霧法,。
相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)：我國有GB6165-85,。
3)DOP法
源于美國，曾在通行,。
試驗塵源為0.3μm單分散相DOP（鄰苯二甲酸二辛脂,，一種塑料工業(yè)常用增塑劑）液滴。 “量”為含DOP空氣的渾濁程度,。測量粉塵的儀器為光度計（photometer）,。以氣樣的濁度差別來判定過濾器對DOP顆粒的過濾效率。
對DOP液體加熱成蒸汽,，蒸汽在特定條件下冷凝成0.3μm左右的微小液滴,，霧狀DOP進(jìn)入風(fēng)道。測量過濾器前后氣樣的濁度,，并由此判斷過濾器對0.3μm粉塵的過濾效率,。
DOP法已經(jīng)有50多年的歷史，這種方法曾經(jīng)是上測量過濾器常用的方法,。早期,，人們認(rèn)為過濾器對0.3μm的粉塵難過濾，因此規(guī)定使用0.3μm粉塵測量過濾器,。
DOP中含苯環(huán),，人們懷疑它致癌，因此許多實驗室改用性能類似但不含苯環(huán)的替代物,，如DOS,，但試驗方法仍稱為“DOP法”。
測量過濾器的DOP法也稱“熱DOP法”,。與此對應(yīng)的“冷DOP”是指噴管用壓縮空氣在DOP液體中鼓氣泡,，飛濺產(chǎn)生霧態(tài)人工塵,。
相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)：美國軍用標(biāo)準(zhǔn)MIL-STD-282。
4)MPPS法（Most Penetratiable Particulate Size）
歐洲通行,，美國除國防工業(yè)外通行,，中國個別企業(yè)實行?？梢詼y量幾乎所有HEPA與ULPA過濾器,，具有取代傳統(tǒng)方法的大趨勢。
人們曾認(rèn)為過濾器對0.3μm粉塵的過濾效率低,，因此在評價過濾器時,，將它對0.3μm粉塵的過濾效率作為典型值。有很多方法可以產(chǎn)生并測量0.3μm粉塵,，于是就有了諸如DOP,、油霧、鈉焰等方法,。
經(jīng)過研究試驗發(fā)現(xiàn)利用可以測到0.1μm粒徑粉塵的激光粒子計數(shù)器,，不僅可以測出粉塵濃度，也可以測出每個粉塵的粒徑,，于是就可以方便地測出那 個效率低的典型值,，對應(yīng)那個典型值的粉塵粒徑就是MPPS（ Most Penetratiable Particulate Size，易穿透粒徑）,，與MPPS對應(yīng)的那個效率低的數(shù)值就是MPPS效率,。
相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)：美國IEST-RP-CC-007.1-1992,歐洲EN 1822-5:2000
5)阻力 Resistance
1.定義:當(dāng)氣流通過過濾器時,過濾器會對氣流形成阻力,風(fēng)量會減少.
2.阻力的構(gòu)成.過濾器阻力由過濾材料本身的阻力和過濾器的結(jié)構(gòu)阻力構(gòu)成.我們希望過濾器的阻力越小越好,因為阻力越大,要達(dá)到額定的輸出的風(fēng)量,則要增大電機的功率,若電機功率偏小時會產(chǎn)成嘯聲.這些都要合理解決,要選擇合適的濾材.
3.初阻力:新過濾器的阻力稱初阻力.
4.終阻力:過濾器要報廢時的阻力稱為終阻力,終阻力的選擇直接關(guān)系到過濾器的使用壽命、氣流風(fēng)量變化范圍,、系統(tǒng)耗能,。
5.阻力的單位：帕 Pa （Pascal） 1Pa=1N/m2
英制單位：in WG 英寸水柱 （Water Gauge）
公制單位：mmH2O 毫米水柱 1mmH2O=9.8 Pa
in WG=250Pa
目的：通過檢測過濾器的泄漏量，發(fā)現(xiàn)過濾器及其安裝的缺陷,，如濾材中的小針孔、連接密封部位的縫隙等,，以便及時采取補救措施,。
范圍：公司潔凈廠房過濾器泄漏的檢查。
職責(zé)：設(shè)備工程部,、質(zhì)量管理部對本標(biāo)準(zhǔn)的實施負(fù)責(zé),。
3、過濾器DOP測試內(nèi)容：
1),、測試方法：DOP法
2),、測試范圍：
2.1過濾器的濾材
2.2濾材與其框架內(nèi)部的連接
2.3過濾器框架的密封墊和過濾器組支撐框架之間的連接
2.4支撐框架和墻壁或頂棚之間的連接。
3),、檢測材料及儀器：
3.1塵源：DOP溶劑
3.2儀器：DOP發(fā)生器,、氣溶膠光度計
4,、過濾器DOP測試原理：
在被檢測過濾器上風(fēng)側(cè)發(fā)DOP氣溶膠作為塵源，在下風(fēng)側(cè)用光度計采樣檢測,，含塵氣體經(jīng)過光度計時產(chǎn)生的散射光經(jīng)光電效應(yīng)和線性放大轉(zhuǎn)換為電 量,，并由微安表快速顯示，采集到的空氣樣品通過光度計的擴散室,，由于粒子擴散引起燈光強度的差異,，經(jīng)測定這個光強度，光度計便可測得氣溶膠的相對濃度,。
5,、過濾器DOP測試檢測程序：
5.1在過濾器的上風(fēng)側(cè)引入氣溶膠：
5.1.1進(jìn)行系統(tǒng)檢漏時可直接把DOP煙霧放入空調(diào)器內(nèi)。
5.1.2DOP發(fā)生器較小時,，可以放在過濾器的靜壓箱內(nèi),。
5.2立即用氣溶膠光度計的采樣頭掃描過濾器的出風(fēng)側(cè)。采樣頭離過濾器距離約2cm,，沿過濾器內(nèi)邊框等巡檢,，掃描速度應(yīng)低于5cm/s。
5.3當(dāng)光度計讀數(shù)超過0．03%時,，表明泄漏量超標(biāo),，需要修補或更換。
5.4用環(huán)氧樹脂硅膠堵漏或緊固螺栓后,，再進(jìn)行掃描巡檢,。
過濾器及超空氣過濾器的各種試驗方法詳解：
鈉焰法 Sodium Flame
試驗塵源為單分散相氯化鈉鹽霧。“量”為含鹽霧時氫氣火焰的亮度,。主要儀器為光度計,。鹽水在壓縮空氣的攪動下飛濺，經(jīng)干燥形成微小鹽霧并進(jìn)入風(fēng)道,。在過濾 器前后分別采樣,，含鹽霧氣樣使氫氣火焰的顏色變藍(lán)、亮度增加,。以火焰亮度來判斷空氣的鹽霧濃度,，并以此確定過濾器對鹽霧的過濾效率。
國家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的鹽霧顆粒平均直徑為0.4mm,，但對國內(nèi)現(xiàn)有裝置的實測結(jié)果為0.5mm,。歐洲對實際試驗鹽霧顆粒中徑的測量結(jié)果為0.65mm。隨著掃描 法的普及,，歐洲已經(jīng)不再使用鈉焰法,。國內(nèi)有關(guān)部門正在修訂原有的國家標(biāo)準(zhǔn)，是廢止還是繼續(xù)使用鈉焰法,，兩種意見的都沒有結(jié)論,。
相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)：英國BS3928-1969,，歐洲Eurovent 4/4，中國GB6165-85,。
DOP 法
試驗塵源為0.3mm 單分散相DOP（塑料工業(yè)常用增塑劑）液滴,。“量”為含DOP 空氣的渾濁程度。測量粉塵的儀器為光度計（photometer）,。以氣樣的濁度差別來判定過濾器對DOP 顆粒的過濾效率,。對DOP 液體加熱成蒸汽，蒸汽在特定條件下冷凝成微小液滴,，去掉過大和過小的液滴后留下0.3mm 左右的顆粒,，霧狀DOP 進(jìn)入風(fēng)道。測量過濾器前后氣樣的濁度,，并由此判斷過濾器對0.3mm 粉塵的過濾效率,。
DOP 法已經(jīng)有50 多年的歷史，這種方法曾經(jīng)是上測量過濾器常用的方法,。早期,，人們認(rèn)為過濾器對0.3mm 的粉塵難過濾，因此規(guī)定使用0.3mm粉塵測量過濾器,。DOP 中含苯環(huán),，人們懷疑它致癌，因此許多實驗室改用性能類似但不含苯環(huán)的替代物,，如DOS,，但試驗方法仍稱“DOP 法”。通過改變發(fā)塵參數(shù),，可以獲得其它粒徑的DOP 液滴,。于是就有20 年前歐美國家測量超過濾器的0.1mm DOP 法，有時測量儀器也改為凝結(jié)核激光粒子計數(shù)器,。有些國外廠家曾標(biāo)出對0.05mm 或0.03mm DOP 的過濾效率,，那都是商業(yè)上無科學(xué)依據(jù)的標(biāo)新立異。
測量過濾器的DOP 法也稱“熱DOP 法”,。與此對應(yīng)的“冷DOP”是指Laskin 噴管（用壓縮空氣在液體中鼓氣泡,，飛濺產(chǎn)生霧態(tài)人工塵）產(chǎn)生的多分散項DOP 粉塵，在對過濾器進(jìn)行掃描測試時,，人們經(jīng)常使用冷DOP。
相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)：美國軍用標(biāo)準(zhǔn)MIL-STD-282,金田科瑞標(biāo)準(zhǔn),。
計數(shù)掃描法
歐洲通用,，美國類似，其他國家緊跟,。目前上過濾器的主流試驗方法,。
主要測量儀器為大流量激光粒子計數(shù)器或凝結(jié)核計數(shù)器（CNC）,。用計數(shù)器對過濾器的整個出風(fēng)面進(jìn)行掃描檢驗，計數(shù)器給出每一點粉塵的個數(shù)和粒徑,。這種方法不僅能測量過濾器的平均效率,，還可以比較各點的局部效率。
歐洲人的經(jīng)驗表明,，對于過濾器,，容易穿透的粉塵粒徑在0.1～0.25mm 之間的某一點，先確定測試條件易穿透的粉塵粒徑,，然后連續(xù)掃描測量過濾器對該粒徑粉塵的過濾效果,，歐洲人將這種方法稱為MPPS。美國標(biāo)準(zhǔn)干脆規(guī)定只測 量0.1～0.2mm 區(qū)間,。
試驗中使用的塵源為是Laskin 噴管產(chǎn)生的多分散相液滴,，或確定粒徑的固體粉塵。有時,，過濾器廠商要按照用戶的特殊要求,，使用大氣粉塵或其它特定粉塵。若測試中使用的是凝結(jié)核計數(shù)器,，就必須采用粒徑已知的單分散相試驗粉塵,。
用計數(shù)器掃描一臺過濾器需要較長時間。為了節(jié)省時間,，國外將4 組大流量采樣頭和激光測量裝置合為一體,，這使檢測速度大大提高，但一臺掃描臺的檢測速度仍趕不上一條普通過濾器生產(chǎn)線的生產(chǎn)速度,，所以主流過濾器廠經(jīng)常需 要配置數(shù)臺掃描裝置,。計數(shù)掃描法是測試過濾器嚴(yán)格的方法，用這種方法替代其它各種傳統(tǒng)方法是大趨勢,。相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)：歐洲EN 1882.1～1882.5-1998～2000,，美國IES-RP-C007.1-1992。
光度計掃描
塵源一般為多分散相液滴,，如Laskin 噴管產(chǎn)生的DOP 煙霧,。使用光度計對過濾器的全平面進(jìn)行掃描檢漏。這種掃描方法能快速,、準(zhǔn)確地找到過濾器的漏點,。由于塵源為多分散相，而光度計不能確定粉塵粒徑,，所以這種掃描法給出“過濾效率”沒有什么實際意義,。
有些廠家和用戶認(rèn)為，只要對濾紙的品質(zhì)和規(guī)格嚴(yán)加控制，過濾器的效率就已經(jīng)確定了,，因此,，僅進(jìn)行以檢漏為目的的掃描就可以保證過濾器的質(zhì)量。光度計掃描檢 漏的方法沒有相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)可依,，但這種方法對生產(chǎn)過程的質(zhì)量控制很有效,，所用的測試設(shè)備又相對簡單，因此有些廠家目前使用這種方法,。光度掃描測試臺很容易改成 計數(shù)掃描臺,，花些錢將買臺激光粒子計數(shù)器就可以了。
油霧法 Oil Mist
塵源為油霧,。“量”為含油霧空氣的濁度,。儀器為濁度計。以氣樣的濁度差別來判定過濾器對油霧顆粒的過濾效率,。
德國規(guī)定用石蠟油,，油霧粒徑為0.3～0.5mm。中國標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的油霧平均重量直徑為0.28～0.34mm,，對油的種類未做具體規(guī)定,。油霧法在德國本土 已經(jīng)成為歷史，德國于1993 年搞出了計數(shù)掃描法的國家標(biāo)準(zhǔn),，歐洲標(biāo)準(zhǔn)EN1882 就是以德國計數(shù)掃描法標(biāo)準(zhǔn)為藍(lán)本制定的,。雖然中國標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定可以用油霧法，但國內(nèi)廠家更愿意使用同一標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的另一種鈉焰法,，只有部分生產(chǎn)濾材的廠家在測量 過濾材料時仍使用油霧法,。
相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)：中國GB6165-85，德國DIN24184-1990,。
其它方法
變風(fēng)量檢漏,。使用標(biāo)準(zhǔn)試驗風(fēng)道，如果降低風(fēng)量后過濾器的效率降低,，則肯定有漏點,。在過去的過濾器試驗方法標(biāo)準(zhǔn)中，經(jīng)常出現(xiàn)變風(fēng)量檢漏的方法,。變風(fēng)量檢 查只能判斷過濾器是否有漏點,，不能對漏點定位。發(fā)煙檢漏,。在暗室中,，在過濾器上游發(fā)煙，用一束強光照射過濾器出風(fēng)面,，當(dāng)過濾器有漏點時,，可以明顯地看到漏 點處的一縷青煙,。這種方法可以準(zhǔn)確地對漏點定位，以便進(jìn)行可能的修補,。發(fā)煙檢漏方法不那么講究，但十分有效,。無污染檢驗,。有些客戶擔(dān)心試驗用的粉塵污染過 濾器，過濾器制造廠不得不在測試時使用客戶認(rèn)為不污染過濾器的粉塵,。例如,，半導(dǎo)體芯片廠討厭鈉鹽、油霧,、DOP,，他們經(jīng)常要求制造廠家使用他們認(rèn)為安全的 固體顆粒粉塵；有些制藥廠要求直接使用室外大氣中的粉塵測量過濾
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