四探針測試儀 四探針分析儀 電阻性能測試儀

型號:DL07-RTS-5

儀器采用了電子技術進行設計,、裝配,。具有功能選擇直觀,、測量取數(shù)快,、精度高,、測量范圍寬,、穩(wěn)定性好,、結構緊湊、易操作等特點,。

本儀器適用于半導體材料廠,、半導體器件廠、科研單位,、高等院校對半導體材料的電阻性能測試,。

RTS-5型雙電測四探針測試儀采用了四探針雙電測組合（亦稱雙位組合）測量新技術,將范德堡測量方法推廣應用到直線四探針上,利用電流探針、電壓探針的變換,，在計算機控制下進行兩次電測量,，能自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響,。因而每次測量不必知道探針間距,、樣品尺寸及探針在樣品表面上的位置。由于每次測量都是對幾何因素的影響進行動態(tài)的自動修正,，因此顯著降低了幾何因素影響,，從而提高了測量結果的準確度。所有這些,，用目前大量使用的常規(guī)四探針測量方法所生產的儀器是無法實現(xiàn)的,。

RTS-5型雙電測四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析,。

測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù),，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格,，圖形直觀地記錄,、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析

技　術　指　標 ：

測量范圍 電阻率：0.001～200Ω.cm（可擴展）；

方塊電阻：0.01～2000Ω/□（可擴展）,；

電導率：0.005～1000 s/cm,；

電阻：0.001～200Ω.cm；

可測晶片厚度 ≤3mm

可測晶片直徑 140mmX150mm（配S-2A型測試臺）,；

200mmX200mm（配S-2B型測試臺）,；

400mmX500mm（配S-2C型測試臺）；

恒流源 電流量程分為0.1mA,、1mA,、10mA、100mA四檔,，各檔電流連續(xù)可調

數(shù)字電壓表 量程及表示形式：000.00～199.99mV,；　　　　

分辨力：10μV,；

輸入阻抗：>1000MΩ；

精度：±0.1% ,；

顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示,；極性、超量程自動顯示,；

四探針探頭基本指標 間距：1±0.01mm,；

針間絕緣電阻：≥1000MΩ；

機械游移率：≤0.3%,；

探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm,；

探針壓力：5～16 牛頓（總力）；

四探針探頭應用參數(shù) （見探頭附帶的合格證）

模擬電阻測量相對誤差

（ 按JJG508-87進行） 0.1Ω,、1Ω,、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整機測量zui大相對誤差 （用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±4%

整機測量標準不確定度 ≤4%

計算機通訊接口 并口

標準使用環(huán)境 溫度：23±2℃,；

相對濕度：≤65%,；

無高頻干擾；

無強光直射,；

北京北信科儀分析儀器有限公司

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：李

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