WGL光電輪廓儀應(yīng)用范圍:
光電輪廓儀的應(yīng)用范圍很廣,它主要用于測(cè)量各種精密加工零件表面的微觀三維結(jié)構(gòu),,如表面粗糙度,;零件表面的刻線,;刻槽的深度和鍍層的厚度等。具體地說(shuō),,如量塊,、光學(xué)零件表面的粗糙度;標(biāo)尺,、度盤的刻線深度,;光柵的槽形結(jié)構(gòu);鍍層厚度和鍍層邊界處的結(jié)構(gòu)形貌,;磁(光)盤,、磁頭表面結(jié)構(gòu)測(cè)量;硅片表面粗糙度及其上圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量等等,。由于儀器測(cè)量精度高,,重復(fù)性好,具有非接觸和三維測(cè)量等特點(diǎn),,并采用計(jì)算機(jī)控制和快速分析,、計(jì)算測(cè)量結(jié)果,本儀器適用于各級(jí)測(cè)試,、計(jì)量研究單位,,工礦企業(yè)計(jì)量室,精密加工車間和高等院校及科學(xué)研究單位等,。
WGL光電輪廓儀特點(diǎn):
儀器由倒置式改為正置式,,更符合人們的操作習(xí)慣;
應(yīng)用CMOS代替CCD,,省去圖象卡并提高了質(zhì)量,;
用低壓電源代替高壓電源,節(jié)省了儀器成本,;
用國(guó)產(chǎn)的代替德國(guó)進(jìn)口壓電陶瓷,,解決了關(guān)鍵部件的進(jìn)口難題;
增加了自動(dòng)步距和亮度校正程序,,同時(shí)增加了局部放大三維立體圖功能,;
表面微觀不平深度測(cè)量范圍:130?1nm
測(cè)量的重復(fù)性:sRa≤0.5nm
測(cè)量精度:8nm
物鏡倍率:40X
數(shù)值孔徑:0.65
儀器視場(chǎng) 目視:f0.25mm
攝象:0.13X0.13mm
儀器放大倍數(shù) 目視:500X
攝象(計(jì)算機(jī)屏幕觀察):2500X
接收器測(cè)量列陣:1000X1000
象素尺寸:5.2X5.2nm
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