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技術文章
探針臺是如何工作的
點擊次數(shù)：1996 發(fā)布時間：2024-3-2
探針臺將晶圓或芯片固定在安裝在平臺上的卡盤上，該平臺允許將 DUT 定位在顯微鏡視野的中心。
機械手放置在平臺的平面上,，并在機械手中插入探針臂和jian端。探頭jian端必須適合要執(zhí)行的測試程序,。然后,，用戶通過調(diào)整相應的操縱器將探針jian端精確定位在設備內(nèi)的正確位置。然后通過降低壓板使探針與晶片接觸,；現(xiàn)在可以測試該設備,。對于具有多個器件的晶圓，在測試第一個器件后,，可以升起壓板并將支撐晶圓的平臺移動到下一個器件,。重復定位探針jian端的過程，直到測試完所有必需的設備,。這個過程都可以由操作員手動完成,，但如果載物臺和機械手是電動的，并且顯微鏡連接到計算機視覺系統(tǒng),，那么這個過程可以變成半自動或全自動,。這可以提高探針臺的生產(chǎn)力和吞吐量，并減少運行多個測試所需的勞動力,。