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技術文章
手動探針臺的操作使用方式概述
點擊次數:496 發(fā)布時間:2024-2-27
手動探針臺是一種手動控制的探針臺,通常用于沒有很多待測器件需要測量或數據需要收集的情況下,。該類探針臺的優(yōu)點是靈活,、可變性高,,易于配置環(huán)境和轉換測試環(huán)境,并且不需要涉及額外培訓和設置時間的電子設備,、PC或軟件,。手動探針臺系統(tǒng)只需要少量的培訓,因此非常適合研發(fā)人員使用,。
1.將樣品載入真空卡盤,開啟真空閥門控制開關,,使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上,。
2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品,。
3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點移動至顯微鏡下,。
4.顯微鏡切換為高倍率物鏡,在大倍率下找到待測點,,再微調顯微鏡聚焦和樣品x-y,,將影像調節(jié)清晰,帶測點在顯微鏡視場中心。
5.待測點位置確認好后,再調節(jié)探針座的位置,將探針裝上后可眼觀先將探針移到接近待測點的位置旁邊,再使用探針座X-Y-Z三個微調旋鈕,慢慢的將探針移至被測點,此時動作要小心且緩慢,,以防動作過大誤傷芯片,,當探針針尖懸空于被測點上空時,可先用Y軸旋鈕將探針退后少許,,再使用Z軸旋鈕進行下針,,最后則使用X軸旋鈕左右滑動,觀察是否有少許劃痕,,證明是否已經接觸,。
6.確保針尖和被測點接觸良好后,則可以通過連接的測試設備開始測試,。