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商鋪： http://sorrent.com.cn/st185339/
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技術(shù)文章
錦正茂科技高低溫探針臺T8-LY100技術(shù)參數(shù)
點(diǎn)擊次數(shù)：520 發(fā)布時(shí)間：2023-12-1
高低溫探針臺T8-LY100能夠?yàn)榘雽?dǎo)體芯片的電學(xué)參數(shù)測試提供一個(gè)80K-420K高低溫測試環(huán)境,，通過外接不同的電學(xué)測量儀器，可完成集成電路的電壓、電流,、電阻以及IV曲線等參數(shù)檢測,，用于低溫環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學(xué)測試,。
技術(shù)參數(shù)：
1,、真空腔體約直徑260mm，
2,、帶有4英寸高透射觀察窗,，材質(zhì)熔融石英
3、樣品載臺直徑：50mm 樣品載臺平整度<5微米
4,、溫度范圍：80K-420K,，控溫儀精度：0.1-0.5K
5、X-Y-Z行程范圍：±25mm*±25mm*0-12.5mm線性運(yùn)動(dòng),，位移精度：1um
6,、預(yù)留光纖接入口做光響應(yīng)測試
7、預(yù)留四個(gè)探針座的接口
8,、探針長度38mm，直徑0.5mm,，針尖直徑1um
9,、兩套CCD相機(jī)（能看清1-2um）
10、耦合一套四軸應(yīng)變裝置（定制）
11,、三同軸射頻接口：4只,，外接三同軸連接線雙向公頭，長度 2米
13,、真空抽口KF50
14,、重量：75kg
