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技術(shù)文章

真空環(huán)境的獲得方式

點(diǎn)擊次數(shù):477 發(fā)布時(shí)間:2023-11-20

真空環(huán)境是很多精密設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)的前提條件,,由于目前自然真空的利用十分困難,,因此一般通過(guò)真空泵獲取真空環(huán)境。用來(lái)獲得,、改善,、維持真空的裝置稱為真空泵。一般來(lái)說(shuō),,為了獲得高真空,、超高真空及ji高真空,有時(shí)還要采用多臺(tái)真空泵構(gòu)成機(jī)組來(lái)完成抽氣任務(wù),。因此,,了解各種真空泵的工作原理、主要性能,、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)等,,對(duì)于正確選擇經(jīng)濟(jì)適用的真空泵是非常重要的。

zui常用的真空泵就是機(jī)械泵,,它通過(guò)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn),,將空氣從吸氣口吸入,然后從出氣口排出,。機(jī)械泵能夠達(dá)到的真空度大概為1Pa,。但是這樣的真空度還遠(yuǎn)遠(yuǎn)達(dá)不到很多物理實(shí)驗(yàn)的要求,所以更高要求的真空環(huán)境就需要用到渦輪分子泵或磁懸浮分子泵來(lái)獲得,。渦輪分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的動(dòng)葉輪將動(dòng)量傳給氣體分子,,使氣體產(chǎn)生定向流動(dòng)而抽氣的真空泵。由于渦輪分子泵需要在粗真空下才能正常工作,,一般利用機(jī)械泵作為其前級(jí)泵,。分子泵進(jìn)入正常轉(zhuǎn)速后利用烘烤的手段可得到1E-8Pa的極限壓力。

分子泵的高轉(zhuǎn)速也使得其十分“脆弱",,一?;覊m甚至氣體本身都會(huì)對(duì)運(yùn)轉(zhuǎn)中的葉片造成巨大的傷害。并且只要分子泵在啟動(dòng)狀態(tài),,前級(jí)機(jī)械泵就需要一直維持運(yùn)轉(zhuǎn),。啟動(dòng)和關(guān)閉都要嚴(yán)格遵循程序,,否則就可能造成“機(jī)毀泵亡"。


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