波長色散型X射線熒光光譜儀(WD-XRF),，是用晶體分光而后由探測器接收經(jīng)過衍射的特征X射線信號,。如果分光晶體和控測器作同步運動，不斷地改變衍射角,，便可獲得樣品內(nèi)各種元素所產(chǎn)生的特征X射線的波長及各個波長X射線的強度,，可以據(jù)此進行定性和定量分析。
能譜色散型X熒光光譜儀(ED-XRF),，用X射線管產(chǎn)生原級X射線照射到樣品上,，所產(chǎn)生的特征X射線(熒光)直接進入半導體探測器，便可以據(jù)此進行定性分析和定量分析,。
由于普通能量色散X熒光采用低功率X射線管,，又采用濾光片扣除背景和干擾，其背景偏高,，分辨率偏小,，使得應(yīng)用范圍受到限制，特別是在輕元素的分析受到限制,。隨之X射線偏振器的誕生,，產(chǎn)生了一款新型的能量色散X熒光光譜儀，既偏振式能量色散X熒光光譜儀ED(P)-XRF,，再加上SDD探測器的使用,，不僅提高了(相對使用正比計數(shù)管和Si(PIN)探測器的儀器)的分辨率，免去Si(Li)探測器使用液氮冷卻的繁瑣和危險,，了原來普通能量色散X熒光的輕元素檢出限高,，分辨率差的缺陷，又使得(相對波長色散X熒光用戶)購買和使用X熒光儀器的成本大大減低,，這使得偏振式能量色散X熒光光譜儀ED(P)-XRF在分析領(lǐng)域的迅猛發(fā)展,，越來越受到廣泛關(guān)注。
WD-XRF與ED-XRF的簡明比較
| 項目 | 偏振式能量色散X熒光 | 波長色散型X熒光 | 普通能量色散型X熒光 |
| 原理 | X熒光經(jīng)次級偏振靶使X射線產(chǎn)生偏振（提高信噪比）后,，進入檢測器,，經(jīng)電子學系統(tǒng)處理得到不同元素（不同能量）的X熒光能譜 | X熒光經(jīng)晶體分光，在不同衍射角測量不同元素的特征線 | X熒光直接進入檢測器,，經(jīng)電子學系統(tǒng)處理得到不同元素（不同能量）的X熒光能譜 |
| 結(jié)構(gòu) | 無掃描機構(gòu),，只用一個檢測器和多道脈沖分析器，結(jié)構(gòu)簡單得多,，無轉(zhuǎn)動件,，可靠性高 | 為滿足全波段需要，配置多塊晶體,，根據(jù)單道掃描和多道同時測定的需要,，設(shè)置掃描機構(gòu)和若干固定通道 | 無掃描機構(gòu)，只用一個檢測器和多道脈沖分析器,，結(jié)構(gòu)簡單得多,，無轉(zhuǎn)動件，可靠性高 |
| X光管 | 功率低,，不需冷卻水,，X光管壽命長 | 高功率，要高容量冷卻系統(tǒng),，X光管壽命短 | 功率低,，不需冷卻水，X光管壽命長 |
| 檢測器 | SDD | 正比計數(shù)器,，和λ,、晶體、檢測器有關(guān) | Si(pin) |
| 靈敏度 | ug/g級 | Ug/g級 | 輕基體ug/g級,，其它10～102ug/g級 |
| 度 | 取決于標樣 | 取決于標樣 | 取決于標樣 |
| 精密度 | 好 | 很好 | 低濃度時不如WD |
| 系統(tǒng)穩(wěn)定性 | 好,，工作曲線可長時間使用 | 需作周期性漂移校正，定期作工作曲線 | 好,，工作曲線可長時間使用 |
| 方便性 | 好 | 一般 | 好 |
| 分析速度 | 快 | 單道慢,，多道快 | 快 |
| 人員要求 | 一般 | 較高 | 一般 |
| 樣品表面 | 要求不高 | 要求平坦 | 要求不高 |
| 價格 | ￥60～100萬/臺 | ￥120～250萬/臺（其中單道￥120～180萬/臺） | ￥30～70萬/臺 |
| 測定元素范圍 | 11Na～92U | 5B～92U | 11Na～92U |
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