便攜式電阻率測(cè)試儀的簡(jiǎn)介：
1 ,、便攜式電阻率測(cè)試儀概述
便攜式電阻率測(cè)試儀是用來(lái)測(cè)量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層,、外延層,、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器,。
便攜式電阻率測(cè)試儀按照半導(dǎo)體材料電阻率的及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法有關(guān)規(guī)定設(shè)計(jì),。它主要由電器測(cè)量部份（主機(jī)）及四探頭組成，需要時(shí)可加配測(cè)試架,。
為減小體積,，四探針電阻率測(cè)試儀用同一塊數(shù)字表測(cè)量電流及電阻率。樣品測(cè)試電流由高精寬的恒流源提供,，隨時(shí)可進(jìn)行校準(zhǔn),，以確保電阻率測(cè)量的準(zhǔn)確度,。因此本儀器不僅可以用來(lái)分先材料也可以用來(lái)作產(chǎn)品檢測(cè)。對(duì)1 ～ 100Ω.cm 標(biāo)準(zhǔn)樣片的測(cè)量偏差不超過(guò)±3,，在此范圍內(nèi)達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)一級(jí)機(jī)的水平,。
2 、 四探針電阻率測(cè)試儀主要技術(shù)指標(biāo)
（1）測(cè)量范圍：
可測(cè)量電阻率： 0.01 ～ 199.9Ω.cm ,。
可測(cè)方塊電阻： 0.1 ～ 1999Ω/ 口
當(dāng)被測(cè)材料電阻率 ≥ 200Ω.cm 數(shù)字表顯示 0.00 ,。
（2）恒流源：
輸出電流： DC 0.1mA ～ 10mA 分兩檔
10mA 量程： 0.1 ～ 1mA 連續(xù)可調(diào)
10mA 量程： 1mA ～ 10mA 連續(xù)可調(diào)
恒流精度：各檔均優(yōu)于 ±0.1
（3）直流數(shù)字電壓表：
測(cè)量范圍： 0 ～ 199.9mv
靈敏度： 100μv
準(zhǔn)確度： 0.2 （ ±2 個(gè)字）
（4） 供電電源：
AC ： 220V ±10 50/60HZ 功率 8W
（5） 使用環(huán)境：
相對(duì)濕度 ≤ 80
（6） 重量、體積
重量：2.2公斤
體積：寬 210× 高 100× 深 240 （ mm ）
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