UL1000符合微電子 工業(yè)生產(chǎn) 的要求,。從堅(jiān)固的金屬外殼 到方便移動(dòng) 的 滾輪 ,，至 I·C AL, 用于消除在10 -11 至10 -12 超高靈敏漏率范圍中長(zhǎng)平衡時(shí)間 的運(yùn)算法則，都無不顯示了其的*性。
系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的*自診斷程序,。并可調(diào)用防止氦氣或工藝氣體污染的保護(hù)性功能,。UL1000的通風(fēng)系統(tǒng)不會(huì)干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動(dòng)。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染,。
UL1000具有可轉(zhuǎn)動(dòng)的控制界面,，裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測(cè)量結(jié)果于狀態(tài)信息，這樣可遠(yuǎn)距離方便地觀察讀值,。 通過更新軟件,，新的固件可通過標(biāo)準(zhǔn)接口在數(shù)分鐘內(nèi)完成安裝。
,。
應(yīng)用：
半導(dǎo)體工藝設(shè)備的維護(hù),，該設(shè)備本身帶或未帶有渦輪分子泵
工藝氣體系統(tǒng)的檢測(cè)與安裝
元器件在組裝前的漏率測(cè)試
要求高抽速、高靈敏度以及清潔測(cè)試條件的應(yīng)用場(chǎng)合
技術(shù)參數(shù)
zui小可檢漏率（按AVS2.1和EN1518標(biāo)準(zhǔn)）
＜5×10 -12 mbar.l/s
zui小可檢漏率（吸槍模式）
＜3×10 -8 mbar.l/s
入口壓強(qiáng) 粗檢模式
精檢模式
超精檢模式
15 mbar
2 mbar
0.4 mbar
抽泵抽速
16-25立方米/小時(shí)
氦氣抽速（進(jìn)氣口處） 粗檢模式
精檢模式
超精檢模式
8 升/秒
7升/秒
2.5升/秒
可檢質(zhì)量數(shù)
2,、3,、4amu, 氫， 3 氦,，氦
電源電壓
110－120V,；220－240V
重量
110公斤；242磅
尺寸,，包括手把（長(zhǎng)×寬×高）
1068×525×850毫米