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111次德國(guó)HEIDENHAIN光柵尺工作原理:常見光柵的工作原理都是根據(jù)物理上莫爾條紋的形成原理進(jìn)行工作的,。當(dāng)使指示光柵上的線紋與標(biāo)尺光柵上的線紋成一角度來放置兩光柵尺時(shí),,必然會(huì)造成兩光柵尺上的線紋互相交叉。在光源的照射下,,交叉點(diǎn)近旁的小區(qū)域內(nèi)由于黑色線紋重疊,,因而遮光面積zui小,擋光效應(yīng)zui弱,,光的累積作用使得這個(gè)區(qū)域出現(xiàn)亮帶,。相反,距交叉點(diǎn)較遠(yuǎn)的區(qū)域,,因兩光柵尺不透明的黑色線紋的重疊部分變得越來越少,,不透明區(qū)域面積逐漸變大,即遮光面積逐漸變大,,使得擋光效應(yīng)變強(qiáng),,只有較少的光線能通過這個(gè)區(qū)域透過光柵,使這個(gè)區(qū)域出現(xiàn)暗帶,,從而便形成了我們所見到的摩爾條紋,。
德國(guó)HEIDENHAIN光柵尺的莫爾條紋:以透射光柵為例,當(dāng)指示光柵上的線紋和標(biāo)尺光柵上的線紋之間形成一個(gè)小角度θ,,并且兩個(gè)光柵尺刻面相對(duì)平行放置時(shí),,在光源的照射下,,位于幾乎垂直的柵紋上,形成明暗相間的條紋,。這種條紋稱為“莫爾條紋" (右圖所示),。嚴(yán)格地說,莫爾條紋排列的方向是與兩片光柵線紋夾角的平分線相垂直,。莫爾條紋中兩條亮紋或兩條暗紋之間的距離稱為莫爾條紋的寬度,,以W表示。 莫爾條紋
W=ω /2* sin(θ/2)=ω /θ ,?!? 莫爾條紋具有以下特征: (1)莫爾條紋的變化規(guī)律 兩片光柵相對(duì)移過一個(gè)柵距,,莫爾條紋移過一個(gè)條紋距離,。由于光的衍射與干涉作用,莫爾條紋的變化規(guī)律近似正(余)弦函數(shù),,變化周期數(shù)與光柵相對(duì)位移的柵距數(shù)同步,。 (2)放大作用 在兩光柵柵線夾角較小的情況下,,莫爾條紋寬度W和光柵柵距ω,、柵線角θ之間有下列關(guān)系。式中,,θ的單位為rad,,W的單位為mm。由于傾角很小,,sinθ很小,,則 W=ω /θ 若ω =0.01mm,θ=0.01rad,,則上式可得W=1,,即光柵放大了100倍。 莫爾條紋計(jì)算
(3)均化誤差作用 莫爾條紋是由若干光柵條紋共用形成,,例如每毫米100線的光柵,,10mm寬度的莫爾條紋就有1000條線紋,這樣?xùn)啪嘀g的相鄰誤差就被平均化了,,消除了由于柵距不均勻,、斷裂等造成的誤差。
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