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閱讀：1590 發(fā)布時間：2017-8-24

硅片或玻璃基底上覆有一層透明薄膜,，LEXT OLS4100可透過薄膜觀測基底的表面形貌

硅片基底光刻表面形貌測試圖

LEXT OLS4100全新的多層模式則可以識別多層樣品各層上反射光強度的峰值區(qū)域,，并將各層設為焦點,，這樣既可實現(xiàn)對透明樣品上表面的觀察和測量,，而且也可以對多層樣品的各層進行分析和測量,。

透明樣品內(nèi)層表面形貌觀察和測量

多層模式功能,，可以分析透明體層,，它可以測量透明層下的幾何形狀和表面粗糙度和膜層的厚度,，即使樣品涂有塑料的玻璃基板。

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