產品名稱：ENTEGRIS集成流量控制器InVue6550

產品型號：InVue6550

產品介紹：

Entegris 正在使用創(chuàng)新的流量控制技術解決當今的流量控制挑戰(zhàn),。 6550 型 InVue集成流量控制器 (IFC) 專為散裝化學品流量控制而設計,。 IFC 6550 型設計的流速為 60、90 或 120 L/min,，非常適合用于次晶圓廠散裝化學品輸送應用以及需要高流量的液體處理系統(tǒng),。集成流量控制器采用成熟可靠的差壓流量測量技術和先進的閉環(huán)過程控制。 視覺指示器為預防性維護,、故障排除和警報狀況提供診斷,，使用戶能夠集成更多的過程功能。InVue 集成流量控制器 6550 型設計用于超純液體化學品,、去離子水和 CMP 漿料應用,。 它還設計用于控制氣泡產生介質。

ENTEGRIS集成流量控制器InVue6550 性能特點：

●使用成熟可靠的差壓流量測量技術和先進的閉環(huán)過程控制

●視覺指示器為預防性維護,、故障排除和警報狀況提供診斷

●集成壓力傳感器提供額外的過程信息

●使用氣泡產生介質經過驗證的測量和控制

●堅固的設計提供穩(wěn)定性和長期可靠性

●設計為 60,、90 或 120 L/min流速

參數(shù)：

●工作范圍：滿量程流量的10–100%

●流量控制精度：滿刻度的±1%（使用去離子水在23°C[73°]下校準）

●重復性：滿量程的±0.5%

●壓力測量輸出：0–689 kPa（0-100 psig）

●壓力精度：滿量程的±1%

●工作壓力：

103–552千帕（15–80磅/平方英寸）（60升/分鐘,，90升/分鐘）

172–552千帕（25–80磅/平方英寸）（120升/分鐘）

●輸出信號：兩個4–20 mA電隔離輸出，一個用于流量,，另一個用于壓力

●響應時間：

≥15磅/平方英寸（60升/分鐘,，90升/分鐘）時<3秒

≥25磅/平方英寸（120升/分鐘）時<3秒

●非操作超壓限值：827 kPa（120 psig）

●工藝溫度：10–65°C（50–149°F）

●電氣輸入：1.2安培時為24 VDC（±10%）

●設定值輸入信號：4–20 mA，0–10 VDC

●外殼：IP54

●重量：3.2千克（7磅）

●產地：美國