德國(guó)BMT WLI Linik干涉儀特點(diǎn)及技術(shù)參數(shù)

德國(guó)BMT WLI Linik干涉儀特點(diǎn)：

•區(qū)域表面的形貌測(cè)量,；

•數(shù)秒內(nèi)快速測(cè)量,；

•粗糙和光滑表面都可測(cè)量；

•測(cè)量結(jié)果不受樣品的顏色和材料影響,；

•產(chǎn)品堅(jiān)固耐用,。

德國(guó)BMT WLI Linik干涉儀技術(shù)參數(shù)：

•光源                            LED

•測(cè)量范圍    （mm)              150

•垂直分辨率（nm）               1

•橫向分辨率（μm）              ＞0.2

•測(cè)量面積    （μm）            90×70            

•工作距離，約（mm)              0.3

•光斑尺寸,，約（μm)              0.95

•圖像尺寸（Pixel）               1～10