新宇宙XP-703D半導(dǎo)體氣體檢漏儀
特點(diǎn):
于檢測半導(dǎo)體氣體的微量泄漏。
采用聲光報警,。
規(guī)格
檢測對象氣體 半導(dǎo)體材料氣體(胂,、膦、乙硼烷,、硅烷,、氫氣等)
檢測原理 型半導(dǎo)體式
采樣方式 自動吸引式
可檢測濃度(單位:ppm)砷烷、磷烷,、乙硼烷,、硅烷、氫氣
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
檢測表示 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
應(yīng)答速度 10秒以內(nèi)