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日本橫河[YOKOGAWA] MT210F 臺式高精度數字壓力計詳細介紹：

橫河MT210F臺式高精度數字壓力計

適用于壓力校準、生產線壓力測量,、快速變化壓力的測量等應用

MT210/MT210F的特點

高精度：±0.01%,，允許zui大輸入500kPa（130kPa量程型號）。

較大的壓力量程：

以1kPa的微差壓到3000kPa表壓的豐富產品鏈,。

三種測量模式：

常速,、中速和高速（MT210F系列）。

D/A轉換輸出,，比較輸出,，外部觸發(fā)輸入（選配件）。

GP-IB接口和RS-232接口,。

12V直流電源供電,。

電池操作（選配件）。

★提供高達14款表壓，絕壓和差壓機型

適用于壓力校準,，生產線壓力測量,。快速變化的壓力測量

★ 下一代高精度數字壓力計的實際標準源于穩(wěn)定技術的功能和性能

● 橫河致力于成為高精度壓力測量領域的先鋒者

● MT210/210F系列數字壓力計集成了橫河公司zui*的壓力測量技術,，精度高,，操作可靠，應用范圍廣,，該系列測量工具為廣泛的應用提供了完善的解決方案,。MT210/210F系列的高性能主要源于橫河首創(chuàng)的硅諧振傳感器，結構圖如下,。該技術榮獲Ohkochi Grand 技術獎和日本Federation of Economic Organization （Keidanren）主席將,。

● 硅諧振傳感器是對單晶硅采用技術完善的3-D半導體微機械加工技術制作而成。在傳感器上微加工兩個H型振子,，均具有高頻輸出,。施加壓力時，H型振子同時受力,，一個受到壓力,，另一個受到拉力。諧振頻率發(fā)生相應的變化,，從而產生與作用壓力直接成比例的高差壓輸出（kHz）,。這一簡單的時間函數由微處理器管理。

● 微機械處理單晶硅,，可以提高穩(wěn)定性和再現性,，消除滯后現象。

● 溫度的影響是其他硅技術（10 ppm/℃）的十分之一弱,，因此即使是條件zui苛刻的過程應用中都可以確保出色的穩(wěn)定性,。相比模擬傳感器，硅諧振傳感器輸出可以產生更高的信噪比,。硅諧振傳感器的輸出至少是其前任產品壓阻式硅傳感器的四倍,。溫度和靜壓產生的誤差在整體輸出中可忽略不計。

● 橫河電機DPharp壓力變送器和MT100/200數字壓力計中應用了這一*的傳感器技