晶圓基材太陽(yáng)能模塊生產(chǎn)

快速、安全地傳輸晶圓和太陽(yáng)能電池

H 型門(mén)架,，帶伯努利吸盤(pán) OGGB

H 型高速門(mén)架速度快,、精度高且結(jié)構(gòu)緊湊。

與伯努利吸盤(pán) OGGB 組合使用,，實(shí)現(xiàn)對(duì)易碎晶圓的非接觸式輕柔傳輸,。

 

該過(guò)程非常安全且耗氣量少。

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工作空間大,、速度快,、傳輸平穩(wěn)

在太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)過(guò)程中，通常需要對(duì)易碎的晶圓進(jìn)行快速,、的抓取和移動(dòng),。H 型高速門(mén)架為此提供了理想的解決方案。

H 型高速門(mén)架專為抓取太陽(yáng)能電池和晶圓而設(shè)計(jì)，覆蓋了長(zhǎng)方形工作空間,，zui多 4 個(gè)自由度,。伯努利吸盤(pán)非常適用于易碎晶圓的非接觸式輕柔傳輸。

笛卡爾高速抓取系統(tǒng),，具有機(jī)器人功能

動(dòng)態(tài)響應(yīng)佳,，每分鐘zui多抓取 100 次

結(jié)構(gòu)緊湊、扁平：安裝/工作空間比出眾

• 低振動(dòng)：對(duì)框架的要求降低
• 增加一個(gè) Z 軸或旋轉(zhuǎn)/升降模塊,，就可用于三維應(yīng)用場(chǎng)合
• 即可安裝的完整系統(tǒng),，所有裝配、接線完畢
• 可選：（在一個(gè)控制柜中或一個(gè)安裝板上）

 

平滑地移動(dòng)到終端位置：不僅能保護(hù)易碎晶圓

標(biāo)準(zhǔn)氣缸 DSBC

帶自調(diào)節(jié)氣動(dòng)終端位置緩沖 PPS 的 DSBC 能地適應(yīng)負(fù)載和速度的改變,。

• 正確的緩沖能減少磨損,。
• 自調(diào)節(jié)功能節(jié)省了時(shí)間。

 

用于控制柜的完整安裝板（晶圓切割）：完成裝配（包括所有氣管和電線）,、經(jīng)過(guò)檢查且提供文檔記錄

即可安裝的解決方案

為您的應(yīng)用場(chǎng)合量身定制,。

節(jié)省您的時(shí)間和安裝工作。

• 抓取系統(tǒng)
• 控制柜
• 安裝板
• 產(chǎn)品模塊

 

用于快速,、地抓取晶圓

通過(guò)三角運(yùn)動(dòng)裝置 EXPT 實(shí)現(xiàn)高速抓取

• 速度比傳統(tǒng)的笛卡爾抓取系統(tǒng)更快
• 所需空間小
• 高度動(dòng)態(tài)化，每分鐘抓取 150 次

技術(shù)參數(shù)

規(guī)格	EXCH-40	EXCH-60
X 軸行程 [mm]	500,、750,、1000、1,500 200 ...2000	750,、1000,、1500、2000 200 ...2500
Y 軸行程 [mm]	400,、500,、750、1000 200 ...1000	500,、750,、1000、1250,、1500 500 ...1500
zui大動(dòng)態(tài)響應(yīng)的額定負(fù)載 [kg]	4	6
安裝位置	水平或垂直
重復(fù)精度 [mm]	±0.1
zui大速度 [m/s] 水平 垂直	5 4	5 3
zui大加速度 [m/s] 水平 垂直	50 30	50 30