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 萊寶的TUBOVAC系列陶瓷軸承渦輪分子泵有五種規(guī)格,，抽速自50至1100升/秒，極限真空度為＜10^-10mbar,。
    其主要特點為：
    - 陶瓷軸承為脂潤滑,，無維護運行時間長。
    - 允許任意角度安裝,。
    - 有水冷和風(fēng)冷兩種選擇,。
    - 對H2的壓縮比大。
    - 無油真空泵,，可用來產(chǎn)生潔凈的超高真空。

 TW系列復(fù)合分子泵
抽速： 70 ～ 1600 升 / 秒
極限真空度： 10 － 9 mbar
zui大允許前級壓強： 6 ～ 14mbar
主要特點有：
- 轉(zhuǎn)子葉片為一次成型,，消除了葉片應(yīng)力,，使得前級耐壓高達 14mbar ，并能抵抗短暫的大氣沖擊,。
-高效的風(fēng)冷系統(tǒng),，使其在絕大多數(shù)工作條件下無需冷水。
- 變頻器與泵體的一體化設(shè)計,，避免了連接變頻器帶來的不便,。
- 模塊化的設(shè)計為用戶提供了多種選擇。
- 結(jié)構(gòu)緊湊,，可方便地安裝到復(fù)雜的系統(tǒng)中,。
- 可以任意角度安裝。
- 螺旋式的拖動級耐粉塵能力強,。
- 軸承為油脂潤滑,，無維護運行時間長。
- 無油真空泵,，可用來產(chǎn)生潔凈的高真空和超高真空,。
- 可在軸承需要維護時提前預(yù)警。
- 通過通訊接口可以與掌上電腦,， PC 或 PLC 聯(lián)絡(luò),，以讀取分子泵工作狀態(tài)的參數(shù)，以及儲存單元的運行記錄,；并可根據(jù)需要對某些參數(shù)進行修改,，如頻率等,。
- 高前級耐壓降低了對前級泵的要求，使得系統(tǒng)總體造價降低,。

 新一代數(shù)字化控制,，五軸定位的磁懸浮分子泵
MAG 1500C/CT ， MAG2000C/CT ,， MAG2200C/CT ,， MAG 2800C/CT ， MAG 3200C/CT
抽速： 1500l/s ～ 3200l/s
•  五軸定位雙端磁懸浮軸承系統(tǒng),，自平衡性能好全無油,，耐粉塵、抗氣流沖擊,。
•  轉(zhuǎn)子采用高強度鋁合金,，一次高速銑削成形，應(yīng)力小,，強度高,，耐沖擊，高溫變形量小,，轉(zhuǎn)子葉片不易卷曲,、打碎；轉(zhuǎn)子*運行溫度可高達 120 ℃ ,。
•  轉(zhuǎn)子及定片均采用萊寶技術(shù)的 KAPLAR 涂層
•  較鍍鎳的轉(zhuǎn)子具有更強的防腐蝕性能,，適用于抽除腐蝕性強的工藝氣體；
•  降低氣流與轉(zhuǎn)子葉片摩擦產(chǎn)生的熱量,，降低轉(zhuǎn)子運行溫度,，有利于延長轉(zhuǎn)子壽命；
•  葉片鍍 KAPLAR 的轉(zhuǎn)子較鍍鎳的轉(zhuǎn)子重量更輕,。
•  保護軸承為陶瓷軸承,，壽命長（ >600 次），無需更換保護軸承,。
•  高真空端連接采用 ISO-F ,，連接螺栓強度高，充分保障安全,。
•  智能化電源,，無需 UPS 。
•  帶拖動級,，前級耐壓在 2mbar 以上,。
•  分子泵運行溫度可調(diào)節(jié)，使其充分適應(yīng)不同工藝制程,。
•  的數(shù)字控制技術(shù)
•  運行速度,、溫度可設(shè)置,；
•  運行數(shù)據(jù)記錄存儲，提供多達 180 條運行信息,；
•  磁懸浮軸承及泵運行溫度采用數(shù)字化控制,，信號處理速度快，系統(tǒng)反應(yīng)時間短
•  轉(zhuǎn)子受氣流沖擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉(zhuǎn)子動平衡變化時,，磁場補償反應(yīng)時間短,；
•  在氣流長時間（ 2 分鐘以上）過大，而使泵負載過高,，發(fā)熱量過大時,，泵速會快速自動調(diào)節(jié)，使泵溫下降到正常水平,。
•  控制器與泵無識別性,，可互換。
•  免維護,。
典型應(yīng)用：
適用于
•  所有半導(dǎo)體主要制程：刻蝕,、化學(xué)氣相沉淀及離子注入
•  科研領(lǐng)域
•  鍍膜
另外，萊寶公司磁懸浮分子泵系統(tǒng)中還包括單軸定位的 TURBOVAC340M ,， MAG400 和 MAG 1000 ,。