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SB100A/3型四探針導(dǎo)體/半導(dǎo)體電阻率測量儀是由SB118/1型精密電壓電流源以及SB120/2四探針樣品平臺二臺儀器構(gòu)成。

l            SB118型精密直流電壓電流源 （詳見該產(chǎn)品使用說明書）

直流電流源

a）       電流輸出范圍：1nA~200mA,，輸出電壓不小于5V,；

b）       量程：分五檔，20μA,、200μA,、2mA、20mA,、200mA,；

c）       電流輸出的基本誤差：0.03%RD±0.02%FS（20±2℃）；其中50~200mA為0.05%RD±0.02%FS,。

直流電壓源

a）       電壓輸出范圍：5μV~50V,，負(fù)載電流不小于10mA（20mV以上）；

b）       量程：分五檔,，20mV,、200mV、2V,、20V,、50V，每檔均有粗調(diào)和細(xì)調(diào),；

c）       電壓輸出的基本誤差：0.05%RD±0.02%FS（20±2℃）,。

數(shù)字電壓表（4½LED）利用電壓源部分“取樣”端可對被測電壓進(jìn)行測試

a）       測量量程   20mV，200mV,，2V,，20V，200V

b）       zui高分辨力  可達(dá)1µV

c）       基本誤差為 0.03%RD±0.02%FS   （20±2ºC）

l            SB120/2四探針樣品平臺（詳見該產(chǎn)品使用說明書）

為被測薄膜樣品,，利用四探針測量方式測量導(dǎo)體/半導(dǎo)體樣品的電阻和電阻率,，提供了方便。