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四探針電阻率測(cè)試儀參數(shù)：

數(shù)字電壓表量程：0—199.9mV  靈敏度：100μV  輸入阻抗：1000ΜΩ
                   基本誤差±（0.4-0.5%讀數(shù)+0.1%滿度）
可測(cè)電阻率范圍：103 —10-3Ω•cm,。
可測(cè)方塊電阻范圍：104 —10-2Ω/□,。
設(shè)有電壓表自動(dòng)復(fù)零功能，當(dāng)四探針頭1,、4探針間未有測(cè)量電流流過時(shí),，電壓表指零，只有1,、4探針接觸到硅片,，測(cè)量電流渡過單晶時(shí)，電壓表才指示2,、3探針間的電壓（即電阻率）值,，避免空間雜散電波對(duì)測(cè)量的干擾。
 流經(jīng)硅片的測(cè)量電流由高度穩(wěn)定（萬分之五精度）的特制恒流源提供,，不受氣候條件的影響,，整機(jī)測(cè)量精度＜3%。
電流量程分四檔：100μA,、1mA,、10mA、100mA,。
四探針電阻率測(cè)試儀采用觸點(diǎn)電阻更低（＜5mΩ）,、使用壽命更長(zhǎng)的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器（＞10萬次），在絕緣電阻,、電流容量方面留有更大的安全系數(shù),，提高了測(cè)試儀的可靠性和使用壽命。