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1．先把讀數顯微鏡進行調零（注意要輕輕旋轉旋鈕,，因為讀數顯微鏡是高精度儀器且成本高,，用力過大會導致精度降低）,；
2．然后將打上壓痕的元件置于水平工作臺面上；
3．把讀數顯微鏡置于元件上（當顯微鏡與工件置于一起時,，手不要抖動,，因為顯微鏡與工件的結合不是很緊固，稍不注意會造成讀數誤差）,，把透光孔對向光亮處,；
4．通過旋轉螺母,，使標線沿X軸左右移動,；
5．標線與壓痕的兩側分別相切，此時標線走過的距離即為壓痕直徑,；
6．把工件旋轉90°,，再測量一次（但由于壓痕通常為不規(guī)則形狀，故要把工件旋轉90°,，再測量一次取平均值）,，取兩次結果的平均值,，即得到孔的zui終直徑。
7．記下讀數后,，把顯微鏡歸零后收放到位置,。
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