目前，光刻機(jī)領(lǐng)域的老大是荷蘭ASML,，壟斷了市場,，而國內(nèi)則*依賴進(jìn)口,！前些日子，一臺價值1.06億元的設(shè)備經(jīng)空運從荷蘭飛抵廈門,，卻得到機(jī)場海關(guān)嚴(yán)陣以待的待遇,，而所引進(jìn)光刻機(jī)設(shè)備卻只是中低端設(shè)備，光刻機(jī)領(lǐng)域中國的差距到底在哪,？

事件經(jīng)過設(shè)備價值過高達(dá)1.06億元
對保存和運輸要求很高
必須保持在23℃恒溫狀態(tài)下運輸為了避免影響設(shè)備的精度,，在運輸中也對穩(wěn)定性有*的要求。因此,，機(jī)場海關(guān)以機(jī)坪查驗的方式對該貨物實行全程機(jī)邊監(jiān)管,，待貨物裝入特制溫控氣墊車，移至海關(guān)的機(jī)坪視頻監(jiān)控探頭之下,，完成緊急查驗后當(dāng)晚就得到放行,。

光刻機(jī)知識

光刻機(jī)是芯片制造的核心設(shè)備之一
按照用途可以分為好幾種
生產(chǎn)芯片的光刻機(jī)
用于封裝的光刻機(jī)
LED制造領(lǐng)域的投影光刻機(jī)

用于生產(chǎn)芯片的光刻機(jī)是中國在半導(dǎo)體設(shè)備制造上 大的短板，國內(nèi)晶圓廠所需的光刻機(jī)*依賴進(jìn)口,，本次廈門企業(yè)從荷蘭進(jìn)口的光刻機(jī)就是用于芯片生產(chǎn)的設(shè)備,。

在光刻機(jī)上，除了老大ASML,，尼康和佳能也曾做過光刻機(jī),，而且尼康還曾經(jīng)得到過Intel的訂單。但是近些年,，尼康在ASML面前被打的毫無還手之力,，光刻機(jī)市場基本被ASML占據(jù)——即便是尼康 新的Ar-F immersion 630賣價還不到ASML Ar-F immersion 1980D平均售價的一半，也無法挽回敗局,。

原因何在,？一方面是Intel新CEO上臺后，不再延續(xù)與尼康的620D合同,，這使得尼康失去了一個大客戶,。另一方面，也和尼康自身技術(shù)實力不足有關(guān),，尼康的光刻機(jī)相對于ASML有不少瑕疵,，在操作系統(tǒng)上設(shè)計的架構(gòu)有缺陷，而且尼康的光刻機(jī)的實際性能和尼康*宣傳的有不小差距,，這使得臺積電,、Intel,、三星,、格羅方德等晶圓大廠不可能為了省一點錢去買有瑕疵的產(chǎn)品。
目前,，尼康的光刻機(jī)基本被ASML吊打,，主流半導(dǎo)體產(chǎn)線中只有少數(shù)低階老機(jī)齡的光刻機(jī)還是尼康或者佳能,，其他基本都是ASML的天下。某種程度上,，尼康的光刻機(jī)也只能用賣的超級便宜來搶市場了,。那么，賣的到底有多便宜呢,？
用數(shù)據(jù)來說話,，ASML的 EUV NXE 3350B 單價超過1億美元，ArF Immersion售價大約在7000萬美元左右,。相比之下,，尼康光刻機(jī)的單價只相當(dāng)于ASML價格的三分之一。光刻機(jī)的玻璃增透膜難度也是高精尖

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上圖是一張ASML光刻機(jī)介紹圖
下面,，簡單介紹一下圖中各設(shè)備的作用

在加工芯片的過程中,，光刻機(jī)通過一系列的光源能量、形狀控制手段,，將光束透射過畫著線路圖的掩模,，經(jīng)物鏡補(bǔ)償各種光學(xué)誤差，將線路圖成比例縮小后映射到硅片上,，然后使用化學(xué)方法顯影,，得到刻在硅片上的電路圖。一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干,、涂底,、旋涂光刻膠、軟烘,、對準(zhǔn)曝光,、后烘、顯影,、硬烘,、激光刻蝕等工序。經(jīng)過一次光刻的芯片可以繼續(xù)涂膠,、曝光,。越復(fù)雜的芯片，線路圖的層數(shù)越多,，也需要更精密的曝光控制過程,。
國內(nèi)現(xiàn)狀

目前，光刻機(jī)領(lǐng)域的老大是荷蘭ASML,，并已經(jīng)占據(jù)了高達(dá)80%的*,，壟斷了光刻機(jī)市場。日本尼康在光刻機(jī)上*被ASML擊敗，即便尼康的ArF光刻機(jī)售價僅僅不到ASML的一半也無補(bǔ)于事,。Intel,、臺積電、三星用來加工14/16nm芯片的光刻機(jī)都是買自ASML,，格羅方德,、聯(lián)電以及中芯等晶圓廠的光刻機(jī)主要也是來自ASML。 更關(guān)鍵的是,， 的EUV光刻機(jī)僅僅ASML能夠生產(chǎn),，ASML在今年第三季度和第四季度出售的兩臺EUV光刻機(jī)售價都超過1億美元，落后EUV一代的ArF光刻機(jī)平均售價也在4000萬至5000萬歐元左右,，從高企的報價和EUV光刻機(jī)*出售可以看出,，光刻機(jī)的技術(shù)門檻*，是人類智慧集大成的產(chǎn)物,。相比之下,，國內(nèi)光刻機(jī)廠商則顯得非常寒酸，處于技術(shù)的上海微電子裝備有限公司已量產(chǎn)的光刻機(jī)中,，性能 的是能用來加工90nm芯片的光刻機(jī),，技術(shù)差距說是鴻溝都不為過。正是因此,，國內(nèi)晶圓廠所需的光刻機(jī)*依賴進(jìn)口,，本次從荷蘭空運至廈門機(jī)場的ASML光刻機(jī)，就是用于芯片生產(chǎn)制造的光刻機(jī),，由于是廈門的一家公司申報進(jìn)口的,，小編猜測，這臺設(shè)備很有可能是廈門當(dāng)?shù)卣c中國臺灣聯(lián)華電子合資的晶圓廠從荷蘭ASML采購的,。
不過,，由于西方瓦森納協(xié)議的限制，中國只能買到ASML的中低產(chǎn)品,，這一點從廈門當(dāng)?shù)仄髽I(yè)進(jìn)口的光刻機(jī)報價僅1億人民幣就可以看出來了,。