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轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)潔凈室
閱讀：1814發(fā)布時(shí)間：2015-3-27
目前,，空氣除濕主要有四種方式，通風(fēng)除濕,、冷卻除濕,、液體吸濕劑除濕和固體吸附劑除濕。在空調(diào)除濕系統(tǒng)中,，冷卻除濕和固體吸附劑除濕是主要手段,。冷卻除濕在環(huán)境對(duì)濕度要求不是很高(RH≯60～65%)的條件下，效果還是比較好，性能穩(wěn)定且能耗也比較低,，目前應(yīng)用比較廣泛,。但在生產(chǎn)環(huán)境對(duì)濕度要求較高(RH=45±5%)的地方，采用冷卻除濕就明顯是不經(jīng)濟(jì)的,。采用轉(zhuǎn)輪除濕機(jī),，將不受空氣^***影響，且除濕量大,，特別適用于低濕條件下,，但如果全部除濕僅采用固態(tài)吸附原理的轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)進(jìn)行，由于其耗能量也比較大,，此種方案也不是經(jīng)濟(jì)的,。由于轉(zhuǎn)輪除濕和冷卻除濕各有所長(zhǎng),，將其優(yōu)化組合,，各取所長(zhǎng)，互補(bǔ)所短,，會(huì)的發(fā)揮其效能,。
濕度在半導(dǎo)體行業(yè)中的要求半導(dǎo)體的生產(chǎn)工廠要在全年四季的氣候條件下，生產(chǎn)車間內(nèi)部要求維持穩(wěn)定的環(huán)境,，特別是對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境的溫度,、濕度、空氣潔凈度,、氣流組織,，壓力平衡等多個(gè)空調(diào)參數(shù)都提出了嚴(yán)格的要求。有別于其他的恒溫恒濕環(huán)境系統(tǒng)的要求,，由于電子產(chǎn)品對(duì)靜電的敏感性和高濕度環(huán)境對(duì)其品質(zhì)的影響,，其對(duì)濕度的精度提出了嚴(yán)格要求，對(duì)于空調(diào)系統(tǒng)的配置,，則要求系統(tǒng)同時(shí)具備夏季除濕的功能和冬季加濕的功能,。一般的，半導(dǎo)體生產(chǎn)行業(yè)的溫濕度條件為：T=22±2°C,，RH=45±5%;而對(duì)于這個(gè)溫濕度要求,，傳統(tǒng)上經(jīng)常采用冷凍除濕+后加熱(再熱)方式進(jìn)行處理，并取得了成果,。但這種方式卻存在著一個(gè)致命問(wèn)題,，冷熱的抵消和能耗的巨大浪費(fèi)，特別是由于半導(dǎo)體行業(yè)的大新風(fēng),，大排風(fēng)系統(tǒng),、生產(chǎn)環(huán)境為大空間潔凈環(huán)境以及目前許多廠主要集中分布在華南和華東地區(qū)的情況，使得這個(gè)問(wèn)題十分突出。因此,，在的許多半導(dǎo)體廠房的空調(diào)系統(tǒng)開始使用新風(fēng)通過(guò)新風(fēng)機(jī)組(冷卻除濕)和轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)聯(lián)合處理濕度,、溫度而后通過(guò)后空調(diào)機(jī)組處理的組合方式，達(dá)到室內(nèi)送風(fēng)溫,、濕度要求,，并取得了顯著收益。
轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合式除濕空調(diào)系統(tǒng)的特性
轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合除濕空調(diào)系統(tǒng),，就是將具有冷熱交換的冷卻除濕循環(huán)系統(tǒng)與轉(zhuǎn)輪除濕相結(jié)合,，利用制冷系統(tǒng)的吸熱除濕進(jìn)行前期除濕，而利用轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)進(jìn)行深度除濕,。冷卻除濕在的范圍內(nèi)除濕效果好,，且性能穩(wěn)定，但當(dāng)濕度要求較低時(shí),，冷卻除濕的能力明顯下降,，此時(shí)選用轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合除濕系統(tǒng)，可以達(dá)到很好的效果,。冷卻除濕作為前期除濕,，突出了冷卻除濕機(jī)高^(guò)***工況下能耗低的特點(diǎn)，利用轉(zhuǎn)輪除濕進(jìn)行深度除濕,，突出了轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)低溫低濕條件下,，不受^***限制且除濕量大的優(yōu)點(diǎn)。此系統(tǒng)常用的處理流程如下：1：冷卻除濕;2：轉(zhuǎn)輪除濕;3：等濕冷卻;5：加熱;6：絕熱
在低濕環(huán)境條件下,，采用轉(zhuǎn)輪與冷卻聯(lián)合式除濕空調(diào)系統(tǒng)具有僅冷卻除濕機(jī)不可比擬的*性,。
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