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真空泵正確選型方法

時(shí)間:2019/5/9閱讀:5744
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選用真空泵時(shí),,需要注意下列事項(xiàng): 
1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求,。如:真空鍍膜要求110-5mmHg的真空度,,選用的真空泵的真空度至少要510-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí),。 
2,、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg,,在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),,泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化,其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為510-4~510-6mmHg,。因而,,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi),而不能讓它在10-8mmHg下長期工作,。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,,但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于110-5mmHg為好。 
3,、真空泵在其工作壓強(qiáng)下,,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。 
4,、正確地組合真空泵,。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,,需要幾種泵組合起來,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求,。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,,(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一定的抽速,,兩者組合起來,便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度,。另外,,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空,;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,,需要前級(jí)泵,故都需要把泵組合起來使用,。 
5,、真空設(shè)備對(duì)油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時(shí),,應(yīng)該選各種無油泵,,如:水環(huán)泵、分子篩吸附泵,、濺射離子泵,、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,,加上一些防油污染措施,,如加冷阱、障板,、擋油阱等,,也能達(dá)到清潔真空要求。 
6,、了解被抽氣體成分,,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,,有無腐蝕性等。選擇真空泵時(shí),,需要知道氣體成分,,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣,、顆粒,、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,,如冷凝器,、除塵器等。 
7,、真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何,。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,,或者把油蒸氣排到室外,。 
8、真空泵工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)工藝過程及環(huán)境有無影響,。若工藝過程不允許,,應(yīng)選擇無振動(dòng)的泵或者采取防振動(dòng)措施。 
9,、真空泵的價(jià)格,、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。 

水環(huán)式真空泵的選擇 
一,、泵類型的確定 
  泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定,。 
  泵工作時(shí),,需要注意以下兩個(gè)方面: 盡可能要求在區(qū)內(nèi),也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運(yùn)行。應(yīng)避免在大真空度或大排氣壓力附近運(yùn)行,。在此區(qū)域內(nèi)運(yùn)行,,不僅效率極低,而且工作很不穩(wěn)定,,易產(chǎn)生振動(dòng)和噪音,。對(duì)于真空度較高的真空泵而言,在此區(qū)域之內(nèi)運(yùn)行,,往往還會(huì)發(fā)生汽蝕現(xiàn)象,,產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標(biāo)志是泵內(nèi)有噪音和振動(dòng)。汽蝕會(huì)導(dǎo)致泵體,、葉輪等零件的損壞,,以致泵無法工作。 
  根據(jù)以上原則,,當(dāng)泵所需的真空度或氣體壓力不高時(shí),,可優(yōu)先在單級(jí)泵中選取。如果真空度或排氣壓力較高,,單級(jí)泵往往不能滿足,,或者,要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量,,即要求性能曲線在較高真空度時(shí)較平坦,,可選用兩級(jí)泵。如果真空度要求在-710mmHg以上,,可選用水環(huán)-大氣泵或水環(huán)-羅茨真空機(jī)組作為抽真空裝置,。 

二、根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量選擇真空泵 
  初步選定了泵的類型之后,,對(duì)于真空泵,,還要根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量來選用泵的型號(hào)。關(guān)于真空泵的抽速選擇及抽氣時(shí)間計(jì)算可參照我公司網(wǎng)頁真空計(jì)算公式,。 
  面對(duì)各種型式的水環(huán)式真空泵及壓縮機(jī),,我們特將其各自特點(diǎn)收集如下,以利于用戶選型 :
 
 

真空泵一覽表

名稱

型 號(hào)

抽氣速率 L/s

極限真空Pa

配用功率kW

旋片真空泵

2X(Z)型旋片式真空泵

0.5~70

6´ 10-2

0.55~5.5

XD,、X單級(jí)旋片真空泵

2.8~150

2´ 10-2

0.37~15

X型單級(jí)旋片真空泵

30~150

6

4~11

往復(fù)真空泵

W型往復(fù)真空泵

32~300

2000

4~30

55~600

5.5~45

羅茨真空泵

ZJ型羅茨真空泵

30~5000

5´ 10-2

0.75~55

70~3000

1.1~30

滑閥真空泵

H型滑閥真空泵

8~600

1

1.1~55

70~600

7.5~55

2H型滑閥真空泵

8~150

0.1

4~15

 

 

液環(huán)真空泵

2BE1,、CBF水環(huán)式真空泵

2~450 m3/min

3.3´ 103

7.5~710

2BE1型雙級(jí)水環(huán)式真空泵

5~320 m3/min

11~380

2BV 型水環(huán)式真空泵

0.3~8.3 m3/min

0.81~15

2SK型雙級(jí)水環(huán)式真空泵

0.4~30 m3/min

3.5´ 103

2.2~55

S、SK型水環(huán)式真空泵

0.67~25 m3/min

(3.5~4)´ 103

1.5~55

SK型水環(huán)式真空泵

0.4~120 m3/min

(8~15)´ 103

1.1~185

SZ,、SK型水環(huán)式真空泵

1.5~27 m3/min

(5~14)´ 103

5.5~75

SK,、2YK型水環(huán)式真空泵

5~280 m3/min

104

22~380

FSK型水環(huán)式真空泵

3~9 m3/min

(5~14)´ 103

7.5~22

 

YL型液環(huán)式真空泵

5~25 m3/min

9´ 104

30~132

真 空 泵機(jī)組

JZJ型羅茨、旋片真空泵機(jī)組

30~1200

(1~5)´ 10-2

1.3~26

JZJ1型羅茨,、旋片真空泵機(jī)組

70~1200

(5~10)´ 10-2

4.3~22.5

JZJS型羅茨,、水環(huán)真空泵機(jī)組

70~600

25~650

7~39.5

JZJ1S型羅茨,、水環(huán)真空泵機(jī)組

150~600

9.7~24.7

JZJH型羅茨、滑閥真空泵機(jī)組

300~1200

10-1

11.5~26

2BW4型水環(huán)真空泵成套機(jī)組

10~95 m3/min

103

45~185

 


真空表讀數(shù)與真空度(Pa)該如何換算,?

我們經(jīng)常接到電話,,一些用戶詢問,真空表讀數(shù)所反映的究竟是多少Pa,。能不能用直觀的數(shù)字來顯示,? 
(1) 真空表上 “0”表示正一個(gè)大氣壓, “-0.1”表示真空。真空表上的指示值不表示真空度的值,,只表示了真空度的相對(duì)值,。 
真空度的換算; 根據(jù)本表的刻度示值范圍,,真空度的值與相對(duì)值可用下式換算: 
P=1×105(1-δ/0.1) P - 真空度的值(Pa)
δ- 真空表的刻度示值值 
例一:表的示值為O,,則P=1×105(1-O/0.1)=1×105 Pa = 1個(gè)大氣壓 
例二:表的示值為0.1,則P=1×105(1-0.1/0.1)= 0 Pa為真空,。
(真空是不存在的) 
例三:表的示值為0.08,,則P=1×105(1-0.08/0.1)= 2×104 Pa
本產(chǎn)品的真空度指標(biāo)值為<267Pa,表示本產(chǎn)品在267Pa(表面示值約為0.0997,,接近于-0.1)時(shí)的低真空度狀態(tài)下仍能保證正常工作,。產(chǎn)品的真空度主要取決于配套真空泵的性能。
真空度計(jì)量單位換算如下:
0.1Mpa =1×105 Pa = 760mmHg = 1個(gè)大氣壓
1乇 = 1mmHg = 133.33Pa 
2乇 = 0.00026666Mpa ≈267Pa 
(2) 真空表讀數(shù)可以用直觀的數(shù)字來顯示,。但價(jià)格比較昂貴,,一般適用于科研單位。

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